ما هو الفرق بين CVD TaC و TaC الملبد؟

1. ما هو كربيد التنتالوم؟

كربيد التنتالوم (TaC) هو مركب ثنائي يتكون من التنتالوم والكربون مع الصيغة التجريبية TaCX، حيث تتراوح X عادة في نطاق 0.4 إلى 1. وهي مواد خزفية حرارية موصلة معدنية صلبة وهشة للغاية. وهي عبارة عن مساحيق بنية رمادية اللون، وعادة ما تكون ملبدة. باعتباره مادة خزفية معدنية مهمة، يتم استخدام كربيد التنتالوم تجاريًا في أدوات القطع ويتم إضافته أحيانًا إلى سبائك كربيد التنجستن.

الشكل 1. المواد الخام كربيد التنتالوم

سيراميك كربيد التنتالوم عبارة عن سيراميك يحتوي على سبع مراحل بلورية من كربيد التنتالوم. الصيغة الكيميائية هي TaC، شبكة مكعبة مركزية الوجه.

الشكل 2.كربيد التنتالوم - ويكيبيديا

Theoretical density is 1.44, melting point is 3730-3830℃, thermal expansion coefficient is 8.3×10-6, elastic modulus is 291GPa, thermal conductivity is 0.22J/cm·S·C, and the peak melting point of tantalum carbide is around 3880℃, depending on purity and measurement conditions. This value is the highest among binary compounds.

الشكل 3.ترسيب البخار الكيميائي لكربيد التنتالوم في TaBr5&ndash

2. ما مدى قوة كربيد التنتالوم؟

من خلال اختبار صلابة فيكرز، وصلابة الكسر والكثافة النسبية لسلسلة من العينات، يمكن تحديد أن TaC يتمتع بأفضل الخواص الميكانيكية عند 5.5 جيجا باسكال و1300 درجة مئوية. تبلغ الكثافة النسبية وصلابة الكسر وصلابة فيكرز لـ TaC 97.7% و7.4MPam1/2 و21.0GPa على التوالي.

يُطلق على كربيد التنتالوم أيضًا اسم سيراميك كربيد التنتالوم، وهو نوع من المواد الخزفية بالمعنى الواسع؛وتشمل طرق تحضير كربيد التنتالومالأمراض القلبية الوعائيةطريقة، طريقة تلبيدوما إلى ذلك. في الوقت الحاضر، يتم استخدام طريقة CVD بشكل أكثر شيوعًا في أشباه الموصلات، مع درجة نقاء عالية وتكلفة عالية.

3. مقارنة بين كربيد التنتالوم الملبد وكربيد التنتالومالأمراض القلبية الوعائية

في تكنولوجيا معالجة أشباه الموصلات، يعد كربيد التنتالوم الملبد وكربيد التنتالوم ترسيب البخار الكيميائي (CVD) طريقتين شائعتين لإعداد كربيد التنتالوم، والتي لها اختلافات كبيرة في عملية التحضير والبنية المجهرية والأداء والتطبيق.

3.1 عملية التحضير

كربيد التنتالوم الملبد: يتم تلبيد مسحوق كربيد التنتالوم تحت درجة حرارة عالية وضغط مرتفع لتشكيل شكل. تتضمن هذه العملية تكثيف المسحوق ونمو الحبوب وإزالة الشوائب.

كربيد التنتالوم CVD: يتم استخدام سلائف كربيد التنتالوم الغازية للتفاعل كيميائيًا على سطح الركيزة الساخنة، ويتم ترسيب طبقة كربيد التنتالوم طبقة بعد طبقة. تتمتع عملية CVD بقدرة جيدة على التحكم في سماكة الفيلم وتوحيد التركيب.

3.2 البنية المجهرية

كربيد التنتالوم الملبد: بشكل عام، هو عبارة عن هيكل متعدد البلورات ذو حجم حبيبي كبير ومسام كبيرة. تتأثر بنيتها المجهرية بعوامل مثل درجة حرارة التلبيد والضغط وخصائص المسحوق.

كربيد التنتالوم CVD: عادة ما يكون عبارة عن طبقة كثيفة متعددة البلورات ذات حجم حبيبي صغير ويمكن أن يحقق نموًا عالي التوجه. تتأثر البنية المجهرية للفيلم بعوامل مثل درجة حرارة الترسيب وضغط الغاز وتكوين الطور الغازي.

3.3 اختلافات الأداء

الشكل 4. فروق الأداء بين متكلس TaC وCVD TaC

3.4 التطبيقات

كربيد التنتالوم الملبد: نظرًا لقوته العالية وصلابته العالية ومقاومته لدرجات الحرارة العالية، فإنه يستخدم على نطاق واسع في أدوات القطع والأجزاء المقاومة للتآكل والمواد الهيكلية عالية الحرارة وغيرها من المجالات. على سبيل المثال، يمكن استخدام كربيد التنتالوم الملبد لتصنيع أدوات القطع مثل المثاقب وقواطع الطحن لتحسين كفاءة المعالجة وجودة سطح الجزء.

CVD كربيد التنتالوم: نظرًا لخصائص الأغشية الرقيقة والالتصاق الجيد والتوحيد، فإنه يستخدم على نطاق واسع في الأجهزة الإلكترونية ومواد الطلاء والمحفزات وغيرها من المجالات. على سبيل المثال، يمكن استخدام كربيد التنتالوم CVD كوصلات بينية للدوائر المتكاملة والطلاءات المقاومة للتآكل وحاملات المحفز.

-------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- ------------------------------

باعتبارها شركة مصنعة وموردة ومصنعًا لطلاء كربيد التنتالوم، تعد VeTek Semiconductor شركة رائدة في تصنيع مواد طلاء كربيد التنتالوم لصناعة أشباه الموصلات.

وتشمل منتجاتنا الرئيسيةالأجزاء المطلية بكربيد التنتالومالأمراض القلبية الوعائية، الأجزاء المطلية بـ TaC الملبدة لنمو بلورات SiC أو عمليات تنضيد أشباه الموصلات. منتجاتنا الرئيسية هي حلقات التوجيه المطلية بكربيد التنتالوم، حلقات الدليل المطلية بـ TaC، أجزاء نصف القمر المطلية بـ TaC، الأقراص الكوكبية الدوارة المطلية بكربيد التنتالوم (Aixtron G10)، البوتقات المطلية بـ TaC؛ حلقات مطلية بـ TaC؛ الجرافيت المسامي المطلي بـ TaC؛ حساسات الجرافيت المطلية بكربيد التنتالوم؛ حلقات دليل مطلية بـ TaC؛ لوحات كربيد التنتالوم المطلية بـ TaC؛ TaC المغلفة برقائق الرقاقة؛ قبعات الجرافيت المطلية بـ TaC؛ كتل مطلية بـ TaC، وما إلى ذلك، بنقاء أقل من 5 جزء في المليون لتلبية متطلبات العملاء.

الشكل 5. منتجات طلاء TaC الأكثر مبيعًا لشركة VeTek Semiconductor

تلتزم VeTek Semiconductor بأن تصبح مبتكرًا في صناعة طلاء كربيد التنتالوم من خلال البحث المستمر وتطوير التقنيات التكرارية. 

إذا كنت مهتمًا بمنتجات TaC، فلا تتردد في الاتصال بنا مباشرة.

الجوال: +86-180 6922 0752

واتساب: +86 180 6922 0752

البريد الإلكتروني: anny@veteksemi.com