الشركة المصنعة لقرص الدوران الكوكبي المطلي بكربيد التنتالوم

SiC المغلفة برميل Susceptor لمورد LPE PE2061S

طلاء كربيد التنتالوم

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع مواد طلاء كربيد التنتالوم لصناعة أشباه الموصلات. تشمل عروض منتجاتنا الرئيسية أجزاء طلاء كربيد التنتالوم CVD، وأجزاء طلاء TaC الملبدة لنمو بلورات SiC أو عملية تنضيد أشباه الموصلات. لقد اجتازت شهادة ISO9001، تتمتع شركة VeTek Semiconductor بتحكم جيد في الجودة. شركة VeTek Semiconductor مكرسة لتصبح مبتكرًا في صناعة طلاء كربيد التنتالوم من خلال البحث المستمر وتطوير التقنيات التكرارية.

المنتجات الرئيسية هي حلقة المنشق المطلية بطبقة كربيد التنتالوم، وحلقة التحويل المطلية بـ TaC، وأجزاء نصف القمر المطلية بـ TaC، وقرص الدوران الكوكبي المطلي بكربيد التنتالوم (Aixtron G10)، والبوتقة المطلية بـ TaC؛ حلقات مطلية بـ TaC؛ الجرافيت المسامي المطلي بـ TaC؛ طلاء كربيد التنتالوم، مادة الجرافيت؛ حلقة دليل مطلية بـ TaC؛ لوحة المغلفة كربيد التنتالوم TaC؛ TaC المغلفة بسكويت الويفر؛ حلقة طلاء TaC؛ غطاء جرافيت مطلي بطبقة TaC؛ TaC المغلفة قطعة وما إلى ذلك، والنقاء أقل من 5 جزء في المليون، يمكن أن تلبي متطلبات العملاء.

يتم إنشاء الجرافيت المطلي بـ TaC عن طريق طلاء سطح ركيزة الجرافيت عالية النقاء بطبقة دقيقة من كربيد التنتالوم من خلال عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) الخاصة. وتظهر الميزة في الصورة أدناه:

لقد اكتسب طلاء كربيد التنتالوم (TaC) الاهتمام بسبب نقطة انصهاره العالية التي تصل إلى 3880 درجة مئوية، والقوة الميكانيكية الممتازة، والصلابة، ومقاومة الصدمات الحرارية، مما يجعله بديلاً جذابًا لعمليات تنضيد أشباه الموصلات المركبة ذات متطلبات درجات الحرارة الأعلى، مثل نظام Aixtron MOCVD وعملية LPE SiC epitaxy. كما أن لديها تطبيقًا واسعًا في عملية نمو بلورات SiC بطريقة PVT.

معلمة طلاء كربيد التنتالوم لأشباه الموصلات VeTek:

الخصائص الفيزيائية لطلاء TaC
كثافة	14.3 (جم/سم3)
انبعاثية محددة	0.3
معامل التمدد الحراري	6.3 10-6/ك
صلابة (هونج كونج)	2000 هونج كونج
مقاومة	1 × 10-5 أوم * سم
الاستقرار الحراري	<2500 درجة مئوية
يتغير حجم الجرافيت	-10~-20um
سمك التغليف	≥20um القيمة النموذجية (35um±10um)

طلاء TaC لبيانات EDX

بيانات الهيكل البلوري لطلاء TaC

عنصر	النسبة الذرية
	نقطة. 1	نقطة. 2	نقطة. 3	متوسط
سي ك	52.10	57.41	52.37	53.96
تا م	47.90	42.59	47.63	46.04

ظرف طلاء TaC قرص كوكبي مطلي بـ TaC لوحة مطلية بـ TaC لوحة دوران طلاء TaC طلاء TaC غطاء طلاء CVD TaC حلقة طلاء CVD TaC لوحة طلاء TaC

طلاء كربيد السيليكون

شركة VeTek Semiconductor متخصصة في إنتاج منتجات طلاء كربيد السيليكون فائقة النقاء، وقد تم تصميم هذه الطلاءات ليتم تطبيقها على الجرافيت المنقى والسيراميك والمكونات المعدنية المقاومة للحرارة.

يتم استهداف الطلاءات عالية النقاء الخاصة بنا في المقام الأول للاستخدام في صناعات أشباه الموصلات والإلكترونيات. إنها بمثابة طبقة واقية لحاملات الرقاقات والمستقبلات وعناصر التسخين، مما يحميها من البيئات المسببة للتآكل والتفاعل التي تواجهها في عمليات مثل MOCVD وEPI. تعد هذه العمليات جزءًا لا يتجزأ من معالجة الرقاقات وتصنيع الأجهزة. بالإضافة إلى ذلك، فإن طلاءاتنا مناسبة تمامًا للتطبيقات في أفران التفريغ وتسخين العينات، حيث توجد بيئات عالية التفريغ والتفاعل والأكسجين.

في شركة VeTek Semiconductor، نقدم حلاً شاملاً من خلال إمكانيات ورشة الآلات المتقدمة لدينا. يتيح لنا ذلك تصنيع المكونات الأساسية باستخدام الجرافيت أو السيراميك أو المعادن المقاومة للحرارة وتطبيق طلاءات السيراميك SiC أو TaC داخل الشركة. كما نقدم أيضًا خدمات طلاء الأجزاء التي يقدمها العملاء، مما يضمن المرونة لتلبية الاحتياجات المتنوعة.

تُستخدم منتجات طلاء كربيد السيليكون لدينا على نطاق واسع في طبقة Si، وطبقة SiC، ونظام MOCVD، وعملية RTP/RTA، وعملية النقش، وعملية النقش ICP/PSS، وعملية أنواع LED المختلفة، بما في ذلك LED الأزرق والأخضر، وLED UV والأشعة فوق البنفسجية العميقة LED وما إلى ذلك، والتي تم تكييفها مع المعدات من LPE وAixtron وVeeco وNuflare وTEL وASM وAnnealsys وTSI وما إلى ذلك.

أجزاء المفاعل التي يمكننا القيام بها:

طلاء كربيد السيليكون له العديد من المزايا الفريدة:

معلمة طلاء كربيد السيليكون لأشباه الموصلات VeTek:

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC
ملكية	القيمة النموذجية
الهيكل البلوري	FCC β مرحلة متعددة البلورات، موجهة بشكل رئيسي (111).
كثافة	3.21 جم/سم3
صلابة	2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
حجم الحبوب	2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي	99.99995%
السعة الحرارية	640 جول·كجم-1·ك-1
درجة حرارة التسامي	2700 درجة مئوية
قوة العاطفة	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونج	430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
توصيل حراري	300 واط·م-1·ك-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5×10-6K-1

منتجات مميزة

معلومات عنا

تأسست شركة VeTek Semiconductor Technology Co., LTD في عام 2016، وهي شركة رائدة في مجال توفير مواد الطلاء المتقدمة لصناعة أشباه الموصلات. قام مؤسسنا، وهو خبير سابق من معهد المواد التابع للأكاديمية الصينية للعلوم، بتأسيس الشركة مع التركيز على تطوير الحلول المتطورة لهذه الصناعة.

تشمل عروض منتجاتنا الرئيسيةطلاءات كربيد السيليكون CVD (SiC)., طلاءات كربيد التنتالوم (TaC)., السائبة من SiC، ومساحيق SiC، ومواد SiC عالية النقاء. المنتجات الرئيسية هي مستقبِل الجرافيت المطلي بـ SiC، وحلقات التسخين المسبق، وحلقة التحويل المطلية بـ TaC، وأجزاء نصف القمر، وما إلى ذلك، والنقاء أقل من 5 جزء في المليون، ويمكن أن تلبي متطلبات العملاء.

اقرأ أكثر