الصين كربيد السيليكون الصلب الصانع والمورد والمصنع

يعتبر كربيد السيليكون الصلب لأشباه الموصلات VeTek مكونًا سيراميكيًا مهمًا في معدات حفر البلازما، وكربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) تشمل الأجزاء الموجودة في معدات الحفرحلقات التركيز، رأس دش غاز، صينية، حلقات حافة، إلخ. نظرًا لانخفاض تفاعل وتوصيل كربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) إلى الكلور - وغازات الحفر المحتوية على الفلور، فهي مادة مثالية لمعدات حفر البلازما التي تركز على الحلقات وغيرها عناصر.

على سبيل المثال، تعد حلقة التركيز جزءًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة وعلى اتصال مباشر بالرقاقة، وذلك عن طريق تطبيق جهد كهربائي على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة، وبالتالي تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين انتظام الرقاقة. يعالج. حلقة التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أوكوارتز، السيليكون الموصل كمواد حلقة التركيز الشائعة، فهو قريب تقريبًا من موصلية رقائق السيليكون، ولكن النقص هو ضعف مقاومة النقش في البلازما المحتوية على الفلور، غالبًا ما تستخدم مواد قطع غيار الآلات لفترة من الوقت، سيكون هناك خطورة ظاهرة التآكل، مما يقلل بشكل خطير من كفاءة الإنتاج.

Sحلقة التركيز SiC الصلبةمبدأ العمل：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

مقارنة بين حلقة التركيز المستندة إلى Si وحلقة التركيز CVD SiC:

مقارنة حلقة التركيز المستندة إلى Si وحلقة التركيز الأمراض القلبية الوعائية كربيد
غرض	و	الأمراض القلبية الوعائية كربيد
الكثافة (جم / سم³)	2.33	3.21
فجوة النطاق (فولت)	1.12	2.3
الموصلية الحرارية (ث/سم°C)	1.5	5
سي تي إي (x10^-6/ درجه مئوية)	2.6	4
معامل المرونة (GPa)	150	440
الصلابة (المعدل العالمي)	11.4	24.5
مقاومة التآكل والتآكل	فقير	ممتاز

تقدم شركة VeTek Semiconductor أجزاء متقدمة من كربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) مثل حلقات التركيز SiC لمعدات أشباه الموصلات. تتفوق حلقات التركيز المصنوعة من كربيد السيليكون الصلب على السيليكون التقليدي من حيث القوة الميكانيكية، والمقاومة الكيميائية، والتوصيل الحراري، والمتانة في درجات الحرارة العالية، ومقاومة الحفر الأيوني.

تتضمن الميزات الرئيسية لحلقات التركيز SiC الخاصة بنا:

كثافة عالية لتقليل معدلات الحفر.

عزل ممتاز مع فجوة نطاق عالية.

الموصلية الحرارية العالية ومعامل التمدد الحراري المنخفض.

مقاومة الصدمات الميكانيكية الفائقة والمرونة.

صلابة عالية، مقاومة التآكل، ومقاومة التآكل.

تصنيعها باستخدامترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)التقنيات، فإن حلقات التركيز SiC الخاصة بنا تلبي المتطلبات المتزايدة لعمليات الحفر في تصنيع أشباه الموصلات. وهي مصممة لتحمل قوة وطاقة البلازما الأعلى، خاصة فيالبلازما المقترنة بالسعة (CCP)أنظمة.

توفر حلقات التركيز SiC من VeTek Semiconductor أداءً استثنائيًا وموثوقية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. اختر مكونات SiC الخاصة بنا للحصول على الجودة والكفاءة الفائقة.

View as

رأس دش من كربيد السيليكون

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع وتوريد منتجات رأس الدش من كربيد السيليكون في الصين. يتمتع رأس الدش SiC بقدرة ممتازة على تحمل درجات الحرارة العالية، والثبات الكيميائي، والتوصيل الحراري، وأداء جيد لتوزيع الغاز، مما يمكنه تحقيق توزيع موحد للغاز وتحسين جودة الفيلم. لذلك، يتم استخدامه عادة في عمليات درجات الحرارة العالية مثل عمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) أو عمليات ترسيب البخار الفيزيائي (PVD). نرحب بمزيد من التشاور الخاص بك.

اقرأ أكثر إرسال استفسار

خاتم ختم كربيد السيليكون

كشركة مصنعة ومصنعة لمنتجات حلقة ختم كربيد السيليكون في الصين، تستخدم حلقة ختم كربيد السيليكون لأشباه الموصلات VeTek على نطاق واسع في معدات معالجة أشباه الموصلات نظرًا لمقاومتها الممتازة للحرارة، ومقاومة التآكل، والقوة الميكانيكية والتوصيل الحراري. إنها مناسبة بشكل خاص للعمليات التي تشتمل على درجات حرارة عالية وغازات تفاعلية مثل CVD وPVD وحفر البلازما، وهي خيار أساسي للمواد في عملية تصنيع أشباه الموصلات. مزيد من الاستفسارات الخاصة بك هي موضع ترحيب.

اقرأ أكثر إرسال استفسار

كتلة CVD SiC لنمو كريستال SiC

تركز شركة VeTek Semiconductor على البحث والتطوير وتصنيع المصادر السائبة CVD-SiC وطلاءات CVD SiC وطلاءات CVD TaC. بأخذ كتلة CVD SiC لنمو SiC Crystal كمثال، فإن تكنولوجيا معالجة المنتج متقدمة، ومعدل النمو سريع، ومقاومة درجات الحرارة العالية، ومقاومة التآكل قوية. مرحبا بكم في الاستفسار.

اقرأ أكثر إرسال استفسار

التكنولوجيا الجديدة لنمو كريستال SiC

يمكن استخدام كربيد السيليكون عالي النقاء (SiC) من شركة Vetek Semiconductor، والذي يتكون من ترسيب البخار الكيميائي (CVD) كمواد مصدر لتنمية بلورات كربيد السيليكون عن طريق نقل البخار الفيزيائي (PVT). في تقنية SiC Crystal Growth الجديدة، يتم تحميل المادة المصدر في بوتقة وتساميها على بلورة بذرة. استخدم كتل CVD-SiC المهملة لإعادة تدوير المواد كمصدر لنمو بلورات SiC. مرحبا بكم في إقامة شراكة معنا.

اقرأ أكثر إرسال استفسار

رأس دش CVD SiC

VeTek Semiconductor هي إحدى الشركات الرائدة في مجال تصنيع رأس الدش CVD SiC ومبتكرها في الصين. لقد تخصصنا في مواد SiC لسنوات عديدة. يتم اختيار رأس الدش CVD SiC كمواد حلقة تركيز نظرًا لاستقرارها الكيميائي الحراري الممتاز وقوتها الميكانيكية العالية ومقاومتها تآكل البلازما. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

اقرأ أكثر إرسال استفسار

رأس دش سيك

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع ومبتكر رأس الدش SiC في الصين. لقد تخصصنا في مواد SiC لسنوات عديدة. يتم اختيار رأس الدش SiC كمواد حلقة تركيز نظرًا لاستقرارها الكيميائي الحراري الممتاز وقوتها الميكانيكية العالية ومقاومتها لتآكل البلازما. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

اقرأ أكثر إرسال استفسار

<1 2 >

باعتبارنا مصنعًا وموردًا محترفًا كربيد السيليكون الصلب في الصين، لدينا مصنعنا الخاص. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء كربيد السيليكون الصلب المتقدمة والمتينة المصنوعة في الصين، يمكنك ترك رسالة لنا.