ظرف رقاقة كربيد السيليكون

يستخدم VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck الخصائص الممتازة لمواد كربيد السيليكون لتلبية المتطلبات الصارمة لإنتاج أشباه الموصلات، خاصة في معالجة أشباه الموصلات التي تتطلب دقة وموثوقية عالية للغاية.

في عملية معالجة أشباه الموصلات،كربيد السيليكونيتمتع بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية (يمكن أن يعمل بثبات عند درجة حرارة تصل إلى 1400 درجة مئوية)، وموصلية منخفضة (يتمتع SiC بموصلية منخفضة نسبيًا، عادةً 10^^-3S/m) ومعامل تمدد حراري منخفض (حوالي 4.0 × 10^^-6/°C)، وهي مادة لا غنى عنها ومهمة، ومناسبة بشكل خاص لتصنيع ظرف رقاقة كربيد السيليكون.

خلالعملية النمو الفوقي، يتم ترسيب طبقة رقيقة من مادة أشباه الموصلات على الركيزة، مما يتطلب ثباتًا مطلقًا من الرقاقة لضمان طبقات ترسيب فيلم موحدة وعالية الجودة. يحقق ظرف التفريغ SiC ذلك من خلال إنشاء ثبات ثابت ومتماسك للفراغ لمنع أي حركة أو تشوه للرقاقة.

يوفر ظرف رقاقة كربيد السيليكون أيضًا مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية. تعد التغيرات السريعة في درجات الحرارة أمرًا شائعًا في صناعة أشباه الموصلات، والمواد التي لا يمكنها تحمل هذه التقلبات قد تتشقق أو تنحني أو تفشل. يتمتع كربيد السيليكون بمعامل تمدد حراري منخفض ويمكنه الحفاظ على شكله ووظيفته حتى في ظل التغيرات الجذرية في درجات الحرارة، مما يضمن بقاء الرقاقة آمنة أثناء عملية التنقيح دون حركة أو اختلال في المحاذاة.

علاوة على ذلك، فإنعملية الفوقيةغالبًا ما تتضمن الغازات التفاعلية والمواد الكيميائية المسببة للتآكل الأخرى. يضمن الخمول الكيميائي لظرف رقاقة SiC عدم تأثره بهذه البيئات القاسية، مما يحافظ على أدائه ويطيل عمر الخدمة. لا تقلل هذه المتانة الكيميائية من تكرار استبدال ظرف الرقاقة فحسب، بل تضمن أيضًا أداءً ثابتًا للمنتج عبر دورات إنتاج متعددة، مما يساعد على تحسين الكفاءة الإجمالية وفعالية التكلفة لعملية تصنيع أشباه الموصلات.

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع وتوريد منتجات ظرف رقاقة كربيد السيليكون في الصين. يمكننا توفير أنواع مختلفة من منتجات تشاك مثلظرف سيراميك مسامي SiC, تشاك فراغ مسامية SiC, تشاك فراغ السيراميك المساميةوظرف مطلي بـ TaC، إلخ. تلتزم شركة VeTek Semiconductor بتوفير التكنولوجيا المتقدمة وحلول المنتجات لصناعة أشباه الموصلات. نأمل مخلصين أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

بيانات SEM لـ الأمراض القلبية الوعائيةهيكل كريستالي للفيلم SIC：

محلات VeTek لأشباه الموصلات من كربيد السيليكون ويفر تشاك：