طلاء سيراميك كربيد السيليكون

باعتبارنا شركة متخصصة في تصنيع وتوريد طلاء السيراميك من كربيد السيليكون في الصين، فإن طلاء السيراميك من كربيد السيليكون من Vetek يستخدم على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات، خاصة عندما تكون عمليات CVD وPECVD متضمنة. نرحب باستفسارك.

إرسال استفسار

وصف المنتج

فيتيك لأشباه الموصلات طلاء سيراميك كربيد السيليكونعبارة عن طبقة واقية عالية الأداء مصنوعة من مادة كربيد السيليكون (SiC) شديدة الصلابة ومقاومة للاهتراء، والتي توفر مقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي واستقرار درجات الحرارة العالية. تعتبر هذه الخصائص حاسمة في إنتاج أشباه الموصلات، لذلك يتم استخدام طلاء السيراميك من كربيد السيليكون على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات.

الدور المحدد الذي يلعبه طلاء السيراميك Vetek Semiconductor Silicon Carbide في إنتاج أشباه الموصلات هوعلى النحو التالي:

تعزيز متانة المعدات: يوفر طلاء السيراميك من كربيد السيليكون حماية ممتازة لسطح معدات تصنيع أشباه الموصلات بفضل صلابته العالية للغاية ومقاومته للتآكل. خاصة في بيئات العمليات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل الشديد، مثل ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وحفر البلازما، يمكن لطلاء السيراميك من كربيد السيليكون أن يمنع بشكل فعال تلف سطح المعدات بسبب التآكل الكيميائي أو التآكل المادي، وبالتالي إطالة عمر خدمة المعدات بشكل كبير المعدات وتقليل وقت التوقف عن العمل الناجم عن الاستبدال والصيانة المتكررة.

تحسين نقاء العملية: في عملية تصنيع أشباه الموصلات، قد يؤدي أي تلوث صغير إلى حدوث عيوب في المنتج. يسمح الخمول الكيميائي لطلاء سيراميك كربيد السيليكون بالبقاء مستقرًا في ظل الظروف القاسية، ويمنع المادة من إطلاق الجسيمات أو الشوائب، ويضمن نقاء البيئة أثناء العملية. وهذا مهم بشكل خاص لخطوات التصنيع التي تتطلب دقة عالية ونظافة عالية، مثل PECVD وزرع الأيونات.

تحسين الإدارة الحرارية: في معالجة أشباه الموصلات ذات درجات الحرارة العالية، مثل المعالجة الحرارية السريعة (RTP) وعمليات الأكسدة، تتيح الموصلية الحرارية العالية لطلاء السيراميك من كربيد السيليكون توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة داخل المعدات. وهذا يساعد على تقليل الإجهاد الحراري وتشوه المواد الناتج عن تقلبات درجات الحرارة، وبالتالي تحسين دقة تصنيع المنتج واتساقه.

دعم بيئة العمليات المعقدة: في العمليات التي تتطلب تحكمًا معقدًا في الجو، مثل عمليات النقش ICP والنقش PSS، تضمن مقاومة الثبات والأكسدة لسخان طلاء السيراميك من كربيد السيليكون الأداء المستقر للمعدات في التشغيل طويل المدى، مما يقلل من مخاطر تدهور المواد أو المعدات الأضرار الناجمة عن التغيرات البيئية.

فيتيك لأشباه الموصلاتيركز على تصنيع وتوريد الأداء العاليطلاء سيراميك كربيد السيليكون، وتلتزم بتوفير التكنولوجيا المتقدمة وحلول المنتجات لصناعة أشباه الموصلات.نأمل مخلصين أن نكون شريكك على المدى الطويل في الصين.

الخصائص الفيزيائية الأساسيةطلاء سيراميك كربيد السيليكون: