سخان جرافيت مطلي بالسيراميك من كربيد السيليكون

فيتيك لأشباه الموصلات سخان جرافيت طلاء سيراميك من كربيد السيليكونيجمع بين التوصيل الكهربائي والحراري الممتاز للجرافيت مع مقاومة درجات الحرارة العالية، ومقاومة التآكل ومقاومة التآكل لطلاء سيراميك الكربون السيليكون، وهو مصمم لبيئات تصنيع أشباه الموصلات القاسية. 

سخان جرافيت مطلي بالسيراميك من كربيد السيليكونيستخدم بشكل أساسي في معدات الطلاء الفراغي (التبخر)، والطرق المستخدمة بشكل شائع هي PCD (التجفيف الكيميائي بالبلازما) وPVD (ترسيب البخار الفيزيائي). لقد لعب هذا المنتج دورًا مهمًا في تعزيز التقدم التكنولوجي وتحسين كفاءة الإنتاج في صناعة أشباه الموصلات.ونحن نتطلع بصدق إلى مزيد من التعاون معكم.

الخصائص المادية والهيكلية لسخان الجرافيت المطلي بالسيراميك من كربيد السيليكون هي كما يلي:

الركيزة الجرافيت: يشتهر الجرافيت بموصليته الحرارية العالية ومعامل التمدد الحراري المنخفض. يمكنه الاستجابة بسرعة للتغيرات في درجات الحرارة والحفاظ على الاستقرار الهيكلي في درجات الحرارة المرتفعة.

طلاء السيراميك الكربوني السيليكون: يتم طلاء طلاء SiC بالتساوي على سطح الجرافيت من خلال ترسيب البخار الكيميائي أو العمليات المتقدمة الأخرى. يتمتع SiC بصلابة عالية للغاية ومقاومة للتآكل الكيميائي، مما يمكنه حماية ركيزة الجرافيت من الأكسدة ذات درجات الحرارة العالية والبيئات المسببة للتآكل.

يحدد التصميم الهيكلي الخاص للمنتج لسخان الجرافيت المطلي بالسيراميك من كربيد السيليكونمزايا المنتج التي لا يمكن تعويضها لهذا المنتج في عملية معالجة أشباه الموصلات:

تسخين فعال وموحد:

الموصلية الحرارية: الموصلية الحرارية العالية للجرافيت تمكن السخان من الوصول بسرعة إلى درجة الحرارة المطلوبة والحفاظ عليها، ويضمن طلاء SiC توزيعًا موحدًا للحرارة. وهذا مهم بشكل خاص لعمليات أشباه الموصلات التي تتطلب التحكم الدقيق في درجة الحرارة، مثل المعالجة الحرارية السريعة (RTP) وترسيب البخار الكيميائي (CVD).

توحيد درجة الحرارة: من خلال التوزيع الموحد للحرارة، يمكن لسخان الجرافيت المطلي بالسيراميك من كربيد السيليكون أن يقلل بشكل فعال من الضغط الحراري وتدرج درجة الحرارة، مما يضمن اتساق واستقرار جودة رقائق أشباه الموصلات طوال عملية التسخين.

حماية ضد التآكل:

المقاومة الكيميائية: مقاومة التآكل الكيميائي لطلاء SiC تمكن السخان من العمل بثبات ولفترة طويلة في البيئات الغازية والكيميائية المسببة للتآكل، مما يؤدي إلى تجنب تلف ركيزة الجرافيت. تعتبر هذه الميزة حاسمة بشكل خاص في عمليات مثل ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD).

مقاومة الأكسدة: في درجات الحرارة المرتفعة، يمكن لطلاء SiC أن يمنع أكسدة ركيزة الجرافيت، ويطيل عمر خدمة السخان، ويقلل من تكرار وتكلفة صيانة المعدات.

تقليل تلوث الجسيمات:

الاستقرار السطحي: طلاء SiC ليس فقط مقاومًا للتآكل، ولكنه يمنع أيضًا الجزيئات من السقوط من سطح المادة بسبب التدوير الحراري أو التفاعلات الكيميائية، وبالتالي يقلل من خطر تلوث الجسيمات الذي قد يحدث أثناء تصنيع أشباه الموصلات ويضمن بيئة عملية عالية النظافة.

تحسين موثوقية العملية وكفاءتها:

تصميم طويل العمر: نظرًا للجمع بين القوة الميكانيكية للجرافيت ومقاومة التآكل لطلاء SiC، يمكن لسخان الجرافيت المطلي بالسيراميك من كربيد السيليكون الحفاظ على عملية عالية الكفاءة لفترة طويلة في ظل ظروف المعالجة القاسية، مما يحسن بشكل كبير الموثوقية الإجمالية للمعدات.

كفاءة استخدام الطاقة: الموصلية الحرارية العالية للجرافيت واستقرار درجة الحرارة العالية لطلاء SiC تمكن السخان من تقليل استهلاك الطاقة مع تحسين دقة التحكم في درجة الحرارة، وبالتالي تحسين الكفاءة الإجمالية لإنتاج أشباه الموصلات.

الخصائص الفيزيائية الأساسيةسخان جرافيت طلاء سيراميك من كربيد السيليكون:

فيتيك لأشباه الموصلاتسخان جرافيت طلاء سيراميك من كربيد السيليكونالمحلات التجارية:

نظرة عامة على سلسلة صناعة رقائق أشباه الموصلات:

/ عملية أخرى