سخان طلاء السيراميك كربيد السيليكون

VeTek Semiconductor هو المصنع المحترف في تصنيع سخان طلاء السيراميك بكربيد السيليكون في الصين. تم تصميم سخان الطلاء الخزفي من كربيد السيليكون بشكل أساسي لدرجات الحرارة العالية والبيئة القاسية لتصنيع أشباه الموصلات. إن نقطة انصهاره العالية للغاية، ومقاومته الممتازة للتآكل، وموصليته الحرارية المتميزة تحدد مدى عدم إمكانية الاستغناء عن هذا المنتج في عملية إنتاج أشباه الموصلات. نأمل مخلصين في إقامة علاقة تجارية طويلة الأمد معك.

إرسال استفسار

وصف المنتج

فيتيك لأشباه الموصلاتسخان طلاء سيراميك كربيد السيليكون هو سخان مصمم لدرجات الحرارة المرتفعة والبيئات القاسية. إنها تغطي طبقة من طلاء سيراميك الكربون والسيليكون (SiC) على سطح عنصر التسخين لمنح المعدات مقاومة ممتازة للحرارة ومقاومة للتآكل والتوصيل الحراري.

سخان طلاء السيراميك كربيد السيليكونيستخدم بشكل رئيسي في معدات الطلاء الفراغي (التبخر). الطرق المستخدمة بشكل شائع هي PCD (التجفيف الكيميائي بالبلازما) وPVD (ترسيب البخار الفيزيائي)، والتي تستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات وغيرها من التطبيقات الصناعية ذات الطلب العالي.

جنبًا إلى جنب مع تصميم الطلاء عالي الأداء لسخان طلاء السيراميك من كربيد السيليكون،يمكن أن يوفر حل تسخين ممتاز للعمليات ذات درجات الحرارة العالية.

الموصلية الحرارية ممتازة: تتمتع مادة SiC بموصلية حرارية ممتازة، مما يضمن أن السخان يمكنه تحقيق توزيع موحد للحرارة في منطقة العمل وتقليل التدرجات الحرارية.

توفير توزيع موحد للحرارة: يستخدم سخان طلاء السيراميك من كربيد السيليكون التوصيل الحراري العالي لمادة SiC لتحقيق توزيع موحد لدرجة الحرارة في جميع أنحاء منطقة التسخين. وهذا أمر بالغ الأهمية لضمان المعالجة الحرارية الموحدة لرقائق أشباه الموصلات في مختلف العمليات ذات درجات الحرارة العالية مثل المعالجة الحرارية السريعة (RTP)، والانتشار والأكسدة، وتجنب عيوب المنتج الناجمة عن ارتفاع درجة الحرارة المحلية أو درجة الحرارة غير المتساوية.

تحمل درجات الحرارة العالية: طلاء SiC يمكّن السخان من تحمل درجات حرارة عالية للغاية، تصل عادةً إلى 1600 درجة مئوية، وهو مناسب لمختلف عمليات المعالجة ذات درجات الحرارة العالية.

تحسين مقاومة الحرارة: نظرًا لأن الطلاء يمكنه تحمل درجات الحرارة العالية جدًا، فإنه يؤدي أداءً جيدًا في العمليات التي تتطلب تشغيلًا طويل الأمد في درجات حرارة عالية. على سبيل المثال، في عمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، يمكن لسخان طلاء السيراميك من كربيد السيليكون ضمان التشغيل المستقر على المدى الطويل للمعدات في درجات حرارة عالية والحفاظ على أداء تسخين ثابت، وبالتالي تحسين تكرار العملية وموثوقيتها.

مقاومة التآكل الكيميائي: يتمتع طلاء SiC بمقاومة عالية للغاية للأحماض والقلويات والغازات المسببة للتآكل، ويمكن أن يظل مستقرًا لفترة طويلة في بيئة جوية كيميائية معقدة، مما يطيل عمر المعدات.

إطالة عمر المعدات: يتميز طلاء SiC بمقاومة ممتازة للأكسدة ومقاومة للتآكل، ويمكنه مقاومة التآكل الكيميائي والأكسدة بشكل فعال في درجات الحرارة العالية. وهذا أمر بالغ الأهمية في عملية تصنيع أشباه الموصلات، وخاصة في بيئة تتعامل مع الغازات والمواد الكيميائية المسببة للتآكل. يمكن للتأثير الوقائي للطلاء إطالة عمر خدمة السخان بشكل كبير وتقليل تكرار استبدال المعدات وتكاليف الصيانة.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لسخان طلاء السيراميك كربيد السيليكون: