تشاك فراغ مسامية SiC

باعتبارنا شركة متخصصة في تصنيع وتوريد ظرف الفراغ المسامي SiC في الصين، فإن ظرف الفراغ المسامي SiC من Vetek يستخدم على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات، خاصة عندما يتعلق الأمر بعمليات CVD وPECVD. شركة Vetek Semiconductor متخصصة في تصنيع وتوريد ظرف فراغ مسامي عالي الأداء من SiC. نرحب بمزيد من الاستفسارات الخاصة بك.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يتكون ظرف الفراغ Vetek شبه الموصل المسامي SiC بشكل أساسي من كربيد السيليكون (SiC)، وهي مادة خزفية ذات أداء ممتاز. يمكن لظرف الفراغ المسامي SiC أن يلعب دور دعم الرقاقة وتثبيتها في عملية معالجة أشباه الموصلات. هذا المنتج يمكن أن يضمن التوافق الوثيق بين الرقاقة والظرف من خلال توفير شفط موحد، وتجنب تزييف وتشوه الرقاقة بشكل فعال، وبالتالي ضمان استواء التدفق أثناء المعالجة. بالإضافة إلى ذلك، مقاومة درجات الحرارة العالية لكربيد السيليكون يمكن أن تضمن استقرار ظرف الظرف وتمنع الرقاقة من السقوط بسبب التمدد الحراري. مرحبا بكم في التشاور أكثر.

في مجال الإلكترونيات، يمكن استخدام ظرف الفراغ المسامي SiC كمواد شبه موصلة للقطع بالليزر وتصنيع أجهزة الطاقة والوحدات الكهروضوئية ومكونات الطاقة الإلكترونية. الموصلية الحرارية العالية ومقاومتها لدرجات الحرارة العالية تجعلها مادة مثالية للأجهزة الإلكترونية. في مجال الإلكترونيات الضوئية، يمكن استخدام ظرف الفراغ المسامي SiC لتصنيع الأجهزة الإلكترونية الضوئية مثل الليزر ومواد التعبئة والتغليف LED والخلايا الشمسية. تساعد خصائصه البصرية الممتازة ومقاومته للتآكل على تحسين أداء الجهاز واستقراره.

يمكن أن توفر Vetek Semiconductor:

1. نظافة: بعد معالجة حامل SiC والنقش والتنظيف والتسليم النهائي، يجب تلطيفه عند 1200 درجة لمدة 1.5 ساعة لحرق جميع الشوائب ثم تعبئته في أكياس مفرغة من الهواء.

2. تسطيح المنتج: قبل وضع الرقاقة، يجب أن تكون أعلى من -60 كيلو باسكال عند وضعها على الجهاز لمنع الناقل من الطيران أثناء النقل السريع. بعد وضع الرقاقة، يجب أن تكون أعلى من -70 كيلو باسكال. إذا كانت درجة حرارة عدم التحميل أقل من -50 كيلو باسكال، فستستمر الآلة في التنبيه ولن تتمكن من العمل. ولذلك، فإن تسطيح الظهر مهم جدا.

3. تصميم مسار الغاز: مخصصة وفقا لمتطلبات العملاء.

3 مراحل لاختبار العملاء:

1. اختبار الأكسدة: لا يوجد أكسجين (يسخن العميل بسرعة تصل إلى 900 درجة، لذلك يحتاج المنتج إلى التلدين عند 1100 درجة).

2. اختبار البقايا المعدنية: تسخين سريع حتى 1200 درجة، لا يتم إطلاق أي شوائب معدنية لتلويث الرقاقة.

3. اختبار الفراغ: الفرق بين الضغط مع الرقاقة وبدونها يكون ضمن +2ka (قوة الشفط).