VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع ومبتكر رأس الدش SiC في الصين. لقد تخصصنا في مواد SiC لسنوات عديدة. يتم اختيار رأس الدش SiC كمواد حلقة تركيز نظرًا لاستقرارها الكيميائي الحراري الممتاز وقوتها الميكانيكية العالية ومقاومتها لتآكل البلازما. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
يمكنك أن تطمئن إلى شراء رأس دش SiC من مصنعنا.
تتمتع مواد كربيد السيليكون بمزيج فريد من الخصائص الحرارية والكهربائية والكيميائية الممتازة، مما يجعلها مثالية للتطبيقات في صناعة أشباه الموصلات حيث تتطلب مواد عالية الأداء.
تتيح تقنية VeTek Semiconductor الثورية إنتاج رأس الدش SiC، وهي مادة كربيد السيليكون فائقة النقاء تم إنشاؤها من خلال عملية ترسيب البخار الكيميائي.
يعد رأس الدش SiC عنصرًا حاسمًا في تصنيع أشباه الموصلات، وهو مصمم خصيصًا لأنظمة MOCVD، وعمليات تنضيد السيليكون، وعمليات تنقيح SiC. مصنوع من كربيد السيليكون الصلب القوي (SiC)، يمكن لهذا المكون أن يتحمل الظروف القاسية لمعالجة البلازما وتطبيقات درجات الحرارة العالية.
يشتهر كربيد السيليكون (SiC) بموصليته الحرارية العالية، ومقاومته للتآكل الكيميائي، وقوته الميكانيكية الاستثنائية، مما يجعله مادة مثالية لمكونات SiC السائبة مثل رأس الدش من SiC. يضمن رأس الدش الغازي توزيعًا متساويًا لغازات المعالجة على سطح الرقاقة، وهو أمر ضروري لإنتاج طبقات فوقية عالية الجودة. تحافظ حلقات التركيز وحلقات الحافة، المصنوعة غالبًا من CVD-SiC، على توزيع البلازما بشكل موحد وتحمي الحجرة من التلوث، مما يعزز كفاءة وإنتاجية النمو الفوقي.
بفضل التحكم الدقيق في تدفق الغاز وخصائص المواد المتميزة، يعد رأس الدش SiC مكونًا رئيسيًا في معالجة أشباه الموصلات الحديثة، مما يدعم التطبيقات المتقدمة في طبقة السيليكون وطبقة SiC.
تقدم VeTek Semiconductor رأس دش من أشباه الموصلات من كربيد السيليكون الملبد ذو مقاومة منخفضة. لدينا القدرة على تصميم وتوريد مواد السيراميك المتقدمة باستخدام مجموعة متنوعة من القدرات الفريدة.
الخصائص الفيزيائية للصلب SiC | |||
كثافة | 3.21 | جم/سم3 | |
المقاومة الكهربائية | 102 | أوم/سم | |
قوة العاطفة | 590 | MPa | (6000 كجم قف / سم 2) |
معامل يونج | 450 | المعدل التراكمي | (6000 كجم قف / مم 2) |
صلابة فيكرز | 26 | المعدل التراكمي | (2650 كجم ثقلي/مم2) |
سي تي إي (RT-1000 درجة مئوية) | 4.0 | x10-6/ك | |
الموصلية الحرارية (RT) | 250 | ث/م ك |