رأس دش غاز كربيد السيليكون الصلب

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع ومبتكر رأس دش غاز SiC الصلب في الصين. لقد تخصصنا في مواد أشباه الموصلات لسنوات عديدة. يضمن التصميم متعدد المسامية لرأس دش غاز SiC الصلب من VeTek إمكانية تشتيت الحرارة المتولدة في عملية CVD ، مما يضمن تسخين الركيزة بالتساوي. ونحن نتطلع إلى إقامة علاقة طويلة الأمد معك في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

رأس دش غاز كربيد السيليكون الصلب

VeTek Semiconductor هي شركة متكاملة متخصصة في البحث والإنتاج والمبيعات. مع أكثر من 20 عامًا من الخبرة، يتخصص فريقنا في طلاءات SiC وطلاءات TaC وCVD Solid SiC. مرحبًا بكم في شراء رأس دش غاز SiC الصلب منا.

يتم استخدام رأس الدش الغازي الصلب من SiC من VeTek بشكل شائع لتوزيع الغازات الأولية بالتساوي على سطح الركيزة أثناء عمليات الأمراض القلبية الوعائية لأشباه الموصلات. يوفر استخدام مادة CVD-SiC لرؤوس الدش العديد من المزايا. تساعد موصليتها الحرارية العالية على تبديد الحرارة المتولدة في عملية الأمراض القلبية الوعائية، مما يضمن توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة على الركيزة. بالإضافة إلى ذلك، فإن الاستقرار الكيميائي لرأس الدش المصنوع من غاز SiC الصلب يمكّنه من مقاومة الغازات المسببة للتآكل والبيئات القاسية التي تواجه عادةً في عمليات الأمراض القلبية الوعائية. يمكن تصميم رؤوس الدش CVD-SiC وفقًا لأنظمة CVD ومتطلبات العملية المحددة. ومع ذلك، فهي تتكون عادةً من لوحة أو مكون على شكل قرص مع سلسلة من الثقوب أو الشقوق المحفورة بدقة. تم تصميم نمط الثقب والهندسة بعناية لضمان التوزيع الموحد للغاز وسرعة التدفق على سطح الركيزة.

الخصائص الفيزيائية للصلب SiC

الخصائص الفيزيائية للصلب SiC
كثافة	3.21	جم/سم3
المقاومة الكهربائية	102	أوم/سم
قوة العاطفة	590	MPa	(6000 كجم قف / سم 2)
معامل يونج	450	المعدل التراكمي	(6000 كجم قف / مم 2)
صلابة فيكرز	26	المعدل التراكمي	(2650 كجم ثقلي/مم2)
سي تي إي (RT-1000 درجة مئوية)	4.0	x10-6/ك
الموصلية الحرارية (RT)	250	ث/م ك