عملية ترسيب البخار الكيميائي حلقة حافة صلبة من SiC

عملية CVD حلقة حافة SiC الصلبة:

● مادة: حلقة التركيز مصنوعة من مادة SiC الصلبة، وهي مادة سيراميك عالية النقاء وعالية الأداء. يتم تصنيعه باستخدام طرق مثل التلبيد بدرجة حرارة عالية أو ضغط مساحيق SiC. توفر مادة SiC الصلبة متانة استثنائية ومقاومة لدرجات الحرارة العالية وخصائص ميكانيكية ممتازة.

●  المزايا: توفر حلقة cvd sic ثباتًا حراريًا متميزًا، وتحافظ على سلامتها الهيكلية حتى في ظل ظروف درجات الحرارة العالية التي تواجهها عمليات الحفر الجاف. صلابته العالية تضمن مقاومة الإجهاد الميكانيكي والتآكل، مما يؤدي إلى إطالة عمر الخدمة. علاوة على ذلك، يُظهر SiC الصلب خمولًا كيميائيًا، مما يحميه من التآكل ويحافظ على أدائه بمرور الوقت.

طلاء CVD SiC:

●  مادة: طلاء CVD SiC عبارة عن ترسيب غشاء رقيق من SiC باستخدام تقنيات ترسيب البخار الكيميائي (CVD). يتم تطبيق الطلاء على مادة ركيزة، مثل الجرافيت أو السيليكون، لتوفير خصائص SiC للسطح.

●  مقارنة: في حين أن طلاءات CVD SiC توفر بعض المزايا، مثل الترسيب المطابق على الأشكال المعقدة وخصائص الأفلام القابلة للضبط، إلا أنها قد لا تتطابق مع متانة وأداء SiC الصلب. يمكن أن يختلف سمك الطلاء، والبنية البلورية، وخشونة السطح بناءً على معلمات عملية CVD، مما قد يؤثر على متانة الطلاء والأداء العام.

باختصار، تعد حلقة التركيز الصلبة من SiC لأشباه الموصلات من VeTek خيارًا استثنائيًا لتطبيقات الحفر الجاف. تضمن مادة SiC الصلبة مقاومة درجات الحرارة العالية، والصلابة الممتازة، والخمول الكيميائي، مما يجعلها حلاً موثوقًا وطويل الأمد. في حين أن طلاء CVD SiC يوفر المرونة في الترسيب، فإن حلقة cvd sic تتفوق في توفير متانة وأداء لا مثيل لهما مطلوب لعمليات الحفر الجافة الصعبة.

الخصائص الفيزيائية للصلب SiC