الصين كربيد السيليكون الصلب الصانع والمورد والمصنع

يعتبر كربيد السيليكون الصلب لأشباه الموصلات VeTek مكونًا سيراميكيًا مهمًا في معدات حفر البلازما، وكربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) تشمل الأجزاء الموجودة في معدات الحفرحلقات التركيز، رأس دش غاز، صينية، حلقات حافة، إلخ. نظرًا لانخفاض تفاعل وتوصيل كربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) إلى الكلور - وغازات الحفر المحتوية على الفلور، فهي مادة مثالية لمعدات حفر البلازما التي تركز على الحلقات وغيرها عناصر.

على سبيل المثال، تعد حلقة التركيز جزءًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة وعلى اتصال مباشر بالرقاقة، وذلك عن طريق تطبيق جهد كهربائي على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة، وبالتالي تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين انتظام الرقاقة. يعالج. حلقة التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أوكوارتز، السيليكون الموصل كمواد حلقة التركيز الشائعة، فهو قريب تقريبًا من موصلية رقائق السيليكون، ولكن النقص هو ضعف مقاومة النقش في البلازما المحتوية على الفلور، غالبًا ما تستخدم مواد قطع غيار الآلات لفترة من الوقت، سيكون هناك خطورة ظاهرة التآكل، مما يقلل بشكل خطير من كفاءة الإنتاج.

Sحلقة التركيز SiC الصلبةمبدأ العمل：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

مقارنة بين حلقة التركيز المستندة إلى Si وحلقة التركيز CVD SiC:

مقارنة حلقة التركيز المستندة إلى Si وحلقة التركيز الأمراض القلبية الوعائية كربيد
غرض	و	الأمراض القلبية الوعائية كربيد
الكثافة (جم / سم³)	2.33	3.21
فجوة النطاق (فولت)	1.12	2.3
الموصلية الحرارية (ث/سم°C)	1.5	5
سي تي إي (x10^-6/ درجه مئوية)	2.6	4
معامل المرونة (GPa)	150	440
الصلابة (المعدل العالمي)	11.4	24.5
مقاومة التآكل والتآكل	فقير	ممتاز

تقدم شركة VeTek Semiconductor أجزاء متقدمة من كربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) مثل حلقات التركيز SiC لمعدات أشباه الموصلات. تتفوق حلقات التركيز المصنوعة من كربيد السيليكون الصلب على السيليكون التقليدي من حيث القوة الميكانيكية، والمقاومة الكيميائية، والتوصيل الحراري، والمتانة في درجات الحرارة العالية، ومقاومة الحفر الأيوني.

تتضمن الميزات الرئيسية لحلقات التركيز SiC الخاصة بنا:

كثافة عالية لتقليل معدلات الحفر.

عزل ممتاز مع فجوة نطاق عالية.

الموصلية الحرارية العالية ومعامل التمدد الحراري المنخفض.

مقاومة الصدمات الميكانيكية الفائقة والمرونة.

صلابة عالية، مقاومة التآكل، ومقاومة التآكل.

تصنيعها باستخدامترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)التقنيات، فإن حلقات التركيز SiC الخاصة بنا تلبي المتطلبات المتزايدة لعمليات الحفر في تصنيع أشباه الموصلات. وهي مصممة لتحمل قوة وطاقة البلازما الأعلى، خاصة فيالبلازما المقترنة بالسعة (CCP)أنظمة.

توفر حلقات التركيز SiC من VeTek Semiconductor أداءً استثنائيًا وموثوقية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. اختر مكونات SiC الخاصة بنا للحصول على الجودة والكفاءة الفائقة.

View as

حساس البرميل المطلي بـ SiC لـ LPE PE2061S

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع ومبتكر البراميل المطلية بـ SiC لـ LPE PE2061S في الصين. لقد تخصصنا في مواد طلاء SiC لسنوات عديدة. نحن نقدم مستقبلًا برميليًا مطليًا بـ SiC مصممًا خصيصًا لرقائق LPE PE2061S مقاس 4 بوصات. يتميز هذا المستقبِل بطبقة متينة من كربيد السيليكون تعمل على تعزيز الأداء والمتانة أثناء عملية LPE (المرحلة السائلة). نرحب بكم لزيارة مصنعنا في الصين.

اقرأ أكثر إرسال استفسار

رأس دش غاز كربيد السيليكون الصلب

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع ومبتكر رأس دش غاز SiC الصلب في الصين. لقد تخصصنا في مواد أشباه الموصلات لسنوات عديدة. يضمن التصميم متعدد المسامية لرأس دش غاز SiC الصلب من VeTek إمكانية تشتيت الحرارة المتولدة في عملية CVD ، مما يضمن تسخين الركيزة بالتساوي. ونحن نتطلع إلى إقامة علاقة طويلة الأمد معك في الصين.

اقرأ أكثر إرسال استفسار

عملية ترسيب البخار الكيميائي حلقة حافة صلبة من SiC

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع ومبتكرة حلقة حافة SiC الصلبة لعملية ترسيب البخار الكيميائي في الصين. لقد تخصصنا في مواد أشباه الموصلات لسنوات عديدة. توفر حلقة حافة SiC الصلبة لأشباه الموصلات من VeTek تماثلًا محسنًا للنقش وتحديد موضع الرقاقة بدقة عند استخدامها مع ظرف إلكتروستاتيكي. ، مما يضمن نتائج حفر متسقة وموثوقة. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

اقرأ أكثر إرسال استفسار

الصلبة حلقة التركيز النقش SiC

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع ومبتكرة حلقات التركيز لحفر SiC الصلبة في الصين. لقد تخصصنا في مواد SiC لسنوات عديدة. تم اختيار Solid SiC كمواد حلقة تركيز نظرًا لاستقرارها الكيميائي الحراري الممتاز وقوتها الميكانيكية العالية ومقاومتها للبلازما. التآكل. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

اقرأ أكثر إرسال استفسار

<1 2 >

باعتبارنا مصنعًا وموردًا محترفًا كربيد السيليكون الصلب في الصين، لدينا مصنعنا الخاص. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء كربيد السيليكون الصلب المتقدمة والمتينة المصنوعة في الصين، يمكنك ترك رسالة لنا.