كربيد التنتالوم المسامي

VeTek Semiconductor هي شركة متخصصة في تصنيع ورائدة منتجات كربيد التنتالوم المسامية في الصين. عادة ما يتم تصنيع كربيد التنتالوم المسامي بطريقة ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، مما يضمن التحكم الدقيق في حجم المسام وتوزيعها، وهو أداة مادية مخصصة للبيئات القاسية ذات درجات الحرارة العالية. نرحب بمزيد من التشاور الخاص بك.

إرسال استفسار

وصف المنتج

VeTek أشباه الموصلات كربيد التنتالوم المسامي (TaC) عبارة عن مادة خزفية عالية الأداء تجمع بين خصائص التنتالوم والكربون. هيكلها المسامي مناسب جدًا لتطبيقات محددة في درجات الحرارة المرتفعة والبيئات القاسية. يجمع TaC بين الصلابة الممتازة والثبات الحراري والمقاومة الكيميائية، مما يجعله خيارًا مثاليًا للمواد في معالجة أشباه الموصلات.

يتكون كربيد التنتالوم المسامي (TaC) من التنتالوم (Ta) والكربون (C)، حيث يشكل التنتالوم رابطة كيميائية قوية مع ذرات الكربون، مما يمنح المادة متانة عالية للغاية ومقاومة للتآكل. يتم إنشاء الهيكل المسامي لـ Porous TaC أثناء عملية تصنيع المادة، ويمكن التحكم في المسامية وفقًا لاحتياجات التطبيق المحددة. عادة ما يتم تصنيع هذا المنتج بواسطةترسيب البخار الكيميائي (CVD)الطريقة، مما يضمن التحكم الدقيق في حجم المسام وتوزيعها.

Molecular structure of Tantalum Carbide

التركيب الجزيئي لكربيد التنتالوم

يحتوي VeTek أشباه الموصلات المسامية كربيد التنتالوم (TaC) على ميزات المنتج التالية:

- المسامية: يمنحها الهيكل المسامي وظائف مختلفة في سيناريوهات تطبيق محددة، بما في ذلك نشر الغاز أو الترشيح أو تبديد الحرارة المتحكم فيه.

- نقطة انصهار عالية: يحتوي كربيد التنتالوم على نقطة انصهار عالية للغاية تبلغ حوالي 3880 درجة مئوية، وهي مناسبة لبيئات درجات الحرارة المرتفعة للغاية.

- صلابة ممتازة: يتمتع TaC المسامي بصلابة عالية للغاية تبلغ حوالي 9-10 على مقياس صلابة موس، وهو مشابه للماس. ويمكن أن يقاوم التآكل الميكانيكي في ظل الظروف القاسية.

- الاستقرار الحراري: يمكن أن تظل مادة كربيد التنتالوم (TaC) مستقرة في البيئات ذات درجات الحرارة المرتفعة وتتمتع بثبات حراري قوي، مما يضمن أداءً ثابتًا في البيئات ذات درجات الحرارة المرتفعة.

- الموصلية الحرارية العالية: على الرغم من مساميته، لا يزال كربيد التنتالوم المسامي يحتفظ بالتوصيل الحراري الجيد، مما يضمن نقل الحرارة بكفاءة.

- معامل تمدد حراري منخفض: يساعد معامل التمدد الحراري المنخفض لكربيد التنتالوم (TaC) على بقاء المادة مستقرة من حيث الأبعاد في ظل التقلبات الكبيرة في درجات الحرارة ويقلل من تأثير الإجهاد الحراري.

الخصائص الفيزيائيةTaC coating：

الخصائص الفيزيائيةطلاء تاك
كثافة	14.3 (جم/سم3)
انبعاثية محددة	0.3
معامل التمدد الحراري	6.3*10^-6/ك
صلابة (هونج كونج)	2000 هونج كونج
مقاومة	1 × 10^{-5 أو}جلالة * سم
الاستقرار الحراري	<2500 درجة مئوية
يتغير حجم الجرافيت	-10~-20um
سمك الطلاء	≥20um القيمة النموذجية (35um±10um)

في صناعة أشباه الموصلات، يلعب كربيد التنتالوم المسامي (TaC) الدور الرئيسي المحدد التاليق:

في العمليات ذات درجات الحرارة العالية مثلالنقش بالبلازماو CVD، غالبًا ما يستخدم كربيد التنتالوم المسامي لأشباه الموصلات VeTek كطبقة واقية لمعدات المعالجة. ويرجع ذلك إلى المقاومة القوية للتآكلطلاء تاكواستقرارها على درجات الحرارة المرتفعة. تضمن هذه الخصائص أنه يحمي بشكل فعال الأسطح المعرضة للغازات التفاعلية أو درجات الحرارة القصوى، وبالتالي ضمان التفاعل الطبيعي للعمليات ذات درجات الحرارة المرتفعة.

في عمليات الانتشار، يمكن أن يكون كربيد التنتالوم المسامي بمثابة حاجز نشر فعال لمنع اختلاط المواد في العمليات ذات درجة الحرارة العالية. غالبًا ما تُستخدم هذه الميزة للتحكم في انتشار المنشطات في عمليات مثل زرع الأيونات والتحكم في نقاء رقائق أشباه الموصلات.

يعتبر الهيكل المسامي لأشباه الموصلات VeTek Porous Tantalum Carbide مناسبًا جدًا لبيئات معالجة أشباه الموصلات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في تدفق الغاز أو ترشيحه. في هذه العملية، يلعب Porous TaC بشكل رئيسي دور ترشيح الغاز وتوزيعه. ويضمن خموله الكيميائي عدم إدخال أي ملوثات أثناء عملية الترشيح. وهذا يضمن بشكل فعال نقاء المنتج المعالج.

طلاء كربيد التنتالوم (TaC) على مقطع عرضي مجهري:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1