تعتبر لوحة حامل النقش PSS لأشباه الموصلات من VeTek Semiconductor عبارة عن حامل جرافيت عالي الجودة وفائق النقاء مصمم لعمليات معالجة الرقاقات. تتمتع ناقلاتنا بأداء ممتاز ويمكن أن تعمل بشكل جيد في البيئات القاسية ودرجات الحرارة المرتفعة وظروف التنظيف الكيميائية القاسية. يتم استخدام منتجاتنا على نطاق واسع في العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
باعتبارنا الشركة المصنعة المحترفة، نود أن نقدم لك لوحة حامل النقش PSS عالية الجودة لأشباه الموصلات. تعد لوحة حامل النقش PSS لأشباه الموصلات من VeTek Semiconductor مكونًا متخصصًا يستخدم في صناعة أشباه الموصلات لعملية النقش الطيفي لمصدر البلازما (PSS). تلعب هذه اللوحة دورًا حاسمًا في دعم وحمل رقائق أشباه الموصلات أثناء عملية النقش. مرحبًا بكم في استفسارنا!
تصميم دقيق: تم تصميم اللوحة الحاملة بأبعاد دقيقة ومسطحة للسطح لضمان النقش الموحد والمتسق عبر رقائق أشباه الموصلات. إنها توفر منصة مستقرة ومتحكم فيها للرقاقات، مما يسمح بنتائج نقش دقيقة وموثوقة.
مقاومة البلازما: تُظهر اللوحة الحاملة مقاومة ممتازة للبلازما المستخدمة في عملية الحفر. ويظل غير متأثر بالغازات التفاعلية والبلازما عالية الطاقة، مما يضمن عمر خدمة طويل وأداء ثابت.
الموصلية الحرارية: تتميز اللوحة الحاملة بموصلية حرارية عالية لتبديد الحرارة المتولدة أثناء عملية النقش بكفاءة. وهذا يساعد في الحفاظ على التحكم الأمثل في درجة الحرارة ويمنع ارتفاع درجة حرارة رقائق أشباه الموصلات.
التوافق: تم تصميم لوحة حامل النقش PSS لتكون متوافقة مع مختلف أحجام رقائق أشباه الموصلات المستخدمة بشكل شائع في الصناعة، مما يضمن تعدد الاستخدامات وسهولة الاستخدام عبر عمليات التصنيع المختلفة.
الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC | |
ملكية | القيمة النموذجية |
الهيكل البلوري | FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111). |
كثافة | 3.21 جم/سم3 |
صلابة | 2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام) |
حجم الحبوب | 2 ~ 10 ميكرومتر |
النقاء الكيميائي | 99.99995% |
السعة الحرارية | 640 جول·كجم-1·ك-1 |
درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
قوة العاطفة | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
معامل يونج | 430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية |
توصيل حراري | 300 واط·م-1·ك-1 |
التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |