قابلية التلدين الحراري السريع

VeTek Semiconductor هي إحدى الشركات الرائدة في مجال تصنيع ومبتكرات التلدين الحراري السريع في الصين. لقد تخصصنا في مواد طلاء SiC لسنوات عديدة. نحن نقدم Susceptor التلدين الحراري السريع بجودة عالية ومقاومة درجات الحرارة العالية ورقيقة للغاية. نرحب بكم لزيارة موقعنا مصنع في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يتميز جهاز VeTek Semiconductor Rapid Thermal Analing Susceptor بجودة عالية وعمر طويل، مرحبًا بكم في استفسارنا.

التلدين الحراري السريع (RTA) هو مجموعة فرعية مهمة من المعالجة الحرارية السريعة المستخدمة في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. أنها تنطوي على تسخين الرقائق الفردية لتعديل خصائصها الكهربائية من خلال مختلف المعالجات الحرارية المستهدفة. تتيح عملية RTA تنشيط المنشطات، وتغيير واجهات الركيزة من فيلم إلى فيلم أو من فيلم إلى رقاقة، وتكثيف الأفلام المودعة، وتعديل حالات الفيلم المزروع، وإصلاح تلف زرع الأيونات، وحركة المنشطات، ودفع المنشطات بين الأفلام أو في الركيزة رقاقة.

يلعب منتج VeTek Semiconductor، Rapid Thermal Analing Susceptor، دورًا حيويًا في عملية RTP. تم تصنيعه باستخدام مادة الجرافيت عالية النقاء مع طبقة واقية من كربيد السيليكون الخامل (SiC). يمكن لركيزة السيليكون المطلية بطبقة SiC أن تتحمل درجات حرارة تصل إلى 1100 درجة مئوية، مما يضمن أداءً موثوقًا به حتى في ظل الظروف القاسية. يوفر طلاء SiC حماية ممتازة ضد تسرب الغاز وتساقط الجسيمات، مما يضمن طول عمر المنتج.

وللحفاظ على التحكم الدقيق في درجة الحرارة، يتم تغليف الرقاقة بين مكونين من الجرافيت عالي النقاء ومطليين بمادة SiC. يمكن الحصول على قياسات دقيقة لدرجة الحرارة من خلال أجهزة استشعار مدمجة لدرجة الحرارة العالية أو المزدوجات الحرارية التي تتلامس مع الركيزة.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC:

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC
ملكية	القيمة النموذجية
الهيكل البلوري	FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111).
كثافة	3.21 جم/سم3
صلابة	2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
حجم الحبوب	2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي	99.99995%
السعة الحرارية	640 جول·كجم-1·ك-1
درجة حرارة التسامي	2700 درجة مئوية
قوة العاطفة	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونج	430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
توصيل حراري	300 واط·م-1·ك-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5×10-6K-1