كربيد السيليكون النمو المسامي الجرافيت

باعتبارها الشركة الرائدة في تصنيع الجرافيت المسامي SiC Crystal Growth والرائدة في صناعة أشباه الموصلات في الصين، تركز شركة VeTek Semiconductor على العديد من منتجات الجرافيت المسامية لسنوات عديدة، مثل بوتقة الجرافيت المسامية، والجرافيت المسامي عالي النقاء، والجرافيت المسامي ذو النمو البلوري SiC، والجرافيت المسامي مع بفضل استثمار TaC Coated والبحث والتطوير، حازت منتجات الجرافيت المسامية لدينا على إشادة كبيرة من العملاء الأوروبيين والأمريكيين. نحن نتطلع بصدق إلى أن نصبح شريكك في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

الجرافيت المسامي ذو النمو البلوري SiC عبارة عن مادة مصنوعة من الجرافيت المسامي مع بنية مسام يمكن التحكم فيها بشكل كبير. في معالجة أشباه الموصلات، فإنه يظهر التوصيل الحراري الممتاز، ومقاومة درجات الحرارة العالية والاستقرار الكيميائي، لذلك يستخدم على نطاق واسع في ترسيب البخار الفيزيائي، وترسيب البخار الكيميائي وغيرها من العمليات، مما يحسن بشكل كبير من كفاءة عملية الإنتاج وجودة المنتج، ليصبح أشباه الموصلات الأمثل المواد الهامة لأداء معدات التصنيع.

في عملية PVD، عادةً ما يتم استخدام الجرافيت المسامي لنمو كريستال SiC كدعم أو أداة تثبيت للركيزة. وتتمثل مهمتها في دعم الرقاقة أو الركائز الأخرى وضمان استقرار المادة أثناء عملية الترسيب. تتراوح الموصلية الحرارية للجرافيت المسامي عادةً بين 80 وات/م · كلفن و120 وات/م · كلفن، مما يمكّن الجرافيت المسامي من توصيل الحرارة بسرعة وبشكل متساوٍ، وتجنب ارتفاع درجة الحرارة المحلية، وبالتالي منع الترسب غير المتساوي للأغشية الرقيقة، وتحسين كفاءة العملية بشكل كبير .

بالإضافة إلى ذلك، فإن نطاق المسامية النموذجي للجرافيت المسامي لنمو كريستال SiC هو 20% ~ 40%. يمكن أن تساعد هذه الخاصية في تشتيت تدفق الغاز في حجرة التفريغ ومنع تدفق الغاز من التأثير على تجانس طبقة الفيلم أثناء عملية الترسيب.

في عملية CVD، يوفر الهيكل المسامي لـ SiC Crystal Growth Porous Graphite مسارًا مثاليًا للتوزيع الموحد للغازات. يتم ترسيب الغاز التفاعلي على سطح الركيزة من خلال تفاعل كيميائي في الطور الغازي لتشكيل طبقة رقيقة. تتطلب هذه العملية التحكم الدقيق في تدفق وتوزيع الغاز التفاعلي. يمكن لمسامية الجرافيت المسامية بنسبة 20% ~ 40% توجيه الغاز بشكل فعال وتوزيعه بالتساوي على سطح الركيزة، مما يحسن توحيد واتساق طبقة الغشاء المترسب.

يُستخدم الجرافيت المسامي بشكل شائع كأنابيب الفرن، أو ناقلات الركيزة أو مواد القناع في معدات الأمراض القلبية الوعائية، خاصة في عمليات أشباه الموصلات التي تتطلب مواد عالية النقاء ولها متطلبات عالية للغاية للتلوث بالجسيمات. وفي الوقت نفسه، تتضمن عملية الأمراض القلبية الوعائية عادة درجات حرارة عالية، ويمكن للجرافيت المسامي أن يحافظ على ثباته الفيزيائي والكيميائي عند درجات حرارة تصل إلى 2500 درجة مئوية، مما يجعله مادة لا غنى عنها في عملية الأمراض القلبية الوعائية.

على الرغم من هيكله المسامي، لا يزال الجرافيت المسامي ذو النمو البلوري SiC يتمتع بقوة ضغط تبلغ 50 ميجا باسكال، وهو ما يكفي للتعامل مع الضغط الميكانيكي الناتج أثناء تصنيع أشباه الموصلات.

باعتبارها الشركة الرائدة في منتجات الجرافيت المسامية في صناعة أشباه الموصلات في الصين، تدعم Veteksemi دائمًا خدمات تخصيص المنتج وأسعار المنتجات المُرضية. بغض النظر عن متطلباتك المحددة، فإننا سوف نطابق أفضل الحلول للجرافيت المسامي الخاص بك ونتطلع إلى استشارتك في أي وقت.

الخصائص الفيزيائية الأساسية للجرافيت المسامي لنمو كريستال SiC:

الخصائص الفيزيائية النموذجية للجرافيت المسامي
لتر	المعلمة
الكثافة الظاهرية	0.89 جم/سم2
قوة ضاغطة	8.27 ميجا باسكال
قوة الانحناء	8.27 ميجا باسكال
قوة الشد	1.72 ميجا باسكال
مقاومة محددة	130Ω-inX10-5
المسامية	50%
متوسط حجم المسام	70um
الموصلية الحرارية	12 واط/م*ك