صينية حاملة الويفر

يمكنك أن تطمئن إلى شراء صينية حاملة الويفر من مصنعنا.

توفر Vetek Semiconductor بشكل أساسي أجزاء الجرافيت المطلية بـ CVD SiC مثل صينية حامل الويفر لمعدات SiC-CVD لأشباه الموصلات من الجيل الثالث، وهي مخصصة لتوفير معدات إنتاج متقدمة وتنافسية لهذه الصناعة. يتم استخدام معدات SiC-CVD لنمو الطبقة الفوقية ذات الأغشية الرقيقة أحادية البلورة المتجانسة على ركيزة كربيد السيليكون، وتستخدم الصفائح الفوقية SiC بشكل أساسي لتصنيع أجهزة الطاقة مثل صمام ثنائي شوتكي، IGBT، MOSFET وغيرها من الأجهزة الإلكترونية.

تجمع المعدات بشكل وثيق بين العملية والمعدات. تتمتع معدات SiC-CVD بمزايا واضحة في القدرة الإنتاجية العالية، والتوافق مع 6/8 بوصة، والتكلفة التنافسية، والتحكم التلقائي المستمر في النمو للأفران المتعددة، ومعدل العيوب المنخفض، وسهولة الصيانة والموثوقية من خلال تصميم التحكم في مجال درجة الحرارة والتحكم في مجال التدفق. من خلال دمجها مع صينية حاملة الرقاقة المطلية بـ SiC التي توفرها شركة Vetek Semiconductor الخاصة بنا، يمكنها تحسين كفاءة إنتاج المعدات وإطالة العمر والتحكم في التكلفة.

تتميز صينية حاملة الويفر الخاصة بأشباه الموصلات من Vetek بشكل أساسي بنقاء عالٍ وثبات جيد للجرافيت ودقة معالجة عالية، بالإضافة إلى طلاء CVD SiC وثبات في درجات الحرارة العالية: تتمتع طلاءات كربيد السيليكون بثبات ممتاز في درجات الحرارة العالية وتحمي الركيزة من الحرارة والتآكل الكيميائي في بيئات درجات الحرارة المرتفعة للغاية. .

الصلابة ومقاومة التآكل: عادةً ما تتمتع طلاءات كربيد السيليكون بصلابة عالية، مما يوفر مقاومة ممتازة للتآكل ويطيل عمر خدمة الركيزة.

مقاومة التآكل: طلاء كربيد السيليكون مقاوم للتآكل للعديد من المواد الكيميائية ويمكنه حماية الركيزة من التلف الناتج عن التآكل.

انخفاض معامل الاحتكاك: عادة ما يكون لطلاءات كربيد السيليكون معامل احتكاك منخفض، مما يمكن أن يقلل من خسائر الاحتكاك ويحسن كفاءة عمل المكونات.

الموصلية الحرارية: عادة ما يكون لطلاء كربيد السيليكون موصلية حرارية جيدة، والتي يمكن أن تساعد الركيزة على تشتيت الحرارة بشكل أفضل وتحسين تأثير تبديد الحرارة للمكونات.

بشكل عام، يمكن لطلاء كربيد السيليكون CVD أن يوفر حماية متعددة للركيزة، ويطيل عمر الخدمة ويحسن أدائها.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC:

محلات الإنتاج:

نظرة عامة على سلسلة صناعة رقائق أشباه الموصلات: