المؤثر النهائي لمعالجة الرقاقة

إن المؤثر النهائي لمناولة الرقاقات هو نوع من الروبوتات اليدوية المصممة خصيصًا لصناعة أشباه الموصلات، وعادةً ما تستخدم للتعامل والنقلرقائق. تتطلب بيئة إنتاج الرقائق نظافة عالية للغاية، لأن الجزيئات الصغيرة أو الملوثات يمكن أن تتسبب في فشل الرقائق أثناء المعالجة. وتستخدم المواد الخزفية على نطاق واسع في صناعة هذه الأيدي نظراً لخصائصها الفيزيائية والكيميائية الممتازة.

بالمقارنة مع المواد المعدنية التقليدية، فإن مزاياالسيراميكفي المواد تنعكس بشكل رئيسي في الجوانب التالية:

    •مقاومة التآكل: تتعرض الرقائق لمجموعة متنوعة من المواد الكيميائية أثناء عملية التصنيع، ويمكن للمواد الخزفية أن تقاوم التآكل بشكل فعال وتضمن الاستخدام طويل الأمد للمعدات.

    •انخفاض إطلاق الجسيمات: بما أن السيراميك يتميز بانخفاض كبير في إطلاق الجسيمات، فإنه من الصعب أن ينتج جزيئات أثناء عملية المعالجة، مما يقلل من خطر تلوث الرقاقة.

    •مقاومة جيدة لدرجات الحرارة العالية: في بعض العمليات، يجب التعامل مع الرقائق في بيئة ذات درجة حرارة عالية، كما أن مقاومة درجات الحرارة العالية لروبوت معالجة الرقائق الخاص بالمواد الخزفية تمكنها من التكيف مع هذه البيئات القاسية.

    •العزل الكهربائي: السيراميك عبارة عن عوازل كهربائية طبيعية، وهو أمر ضروري لعمليات المعالجة التي تنطوي على تيار ويمكن أن يمنع الكهرباء الساكنة من التأثير على الرقائق.

معدات معالجة الرقاقات التقليدية مصنوعة من الألومنيوم، ويتميز قارب VetekSemi Wafer Handling SiC المصنوع من SiC بالعديد من المزايا. تشتهر SiC بقوتها الميكانيكية الممتازة وثباتها الحراري الرائع ومقاومتها للتآكل. هذه الخصائص تجعلها مادة مثالية للذراع الروبوتية للتعامل مع الرقاقات حيث تعتبر النظافة والدقة والموثوقية أمرًا بالغ الأهمية.

مع التطوير المستمر لتكنولوجيا أشباه الموصلات، زاد حجم الرقائق تدريجيًا، مما أدى إلى طرح متطلبات أعلى لتصميم وتصنيع المؤثر النهائي لمناولة الرقاقات. في المستقبل، مع تحسين تكنولوجيا الأتمتة، ستستمر دقة وسرعة وموثوقية End Effector لمعالجة الرقاقات في التحسن.

باعتبارها واحدة من المعدات الأساسية في تصنيع أشباه الموصلات، تحتل روبوتات معالجة الرقاقات مكانة مهمة في مصانع أشباه الموصلات بسبب نظافتها العالية ومقاومتها للتآكل واستقرارها في درجات الحرارة العالية. يمكن لشركة VeTek Semiconductor أن تزود العملاء بمنتجات Wafer Handling End Effector المخصصة وخدمات ما قبل البيع وما بعد البيع، ونتطلع إلى استشارتك.

VeTekSemالمؤثر النهائي لمعالجة الرقاقة: