توفر Vetek Semiconductor واقي طلاء CVD SiC المستخدم هو LPE SiC epitaxy، ويشير المصطلح "LPE" عادةً إلى Epitaxy منخفض الضغط (LPE) في ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط (LPCVD). في تصنيع أشباه الموصلات، تعد LPE تقنية عملية مهمة لتنمية الأغشية الرقيقة البلورية المفردة، وغالبًا ما تستخدم لتنمية الطبقات الفوقية من السيليكون أو الطبقات الفوقية لأشباه الموصلات الأخرى. يرجى عدم التردد في الاتصال بنا لمزيد من الأسئلة.
يتم تقديم واقي طلاء CVD SiC عالي الجودة من قبل الشركة المصنعة الصينية Vetek Semiconductor. قم بشراء واقي طلاء CVD SiC الذي يتميز بجودة عالية مباشرة وبسعر منخفض.
يشير تنضيد LPE SiC إلى استخدام تقنية تنضيد الضغط المنخفض (LPE) لتنمية طبقات تنضيد كربيد السيليكون على ركائز كربيد السيليكون. SiC عبارة عن مادة شبه موصلة ممتازة، ذات موصلية حرارية عالية، وجهد انهيار عالي، وسرعة انجراف عالية للإلكترون المشبع وخصائص ممتازة أخرى، وغالبًا ما تستخدم في تصنيع الأجهزة الإلكترونية ذات درجة الحرارة العالية والتردد العالي والطاقة العالية.
إن epitaxy LPE SiC هو أسلوب نمو شائع الاستخدام يستخدم مبادئ ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لترسيب مادة كربيد السيليكون على الركيزة لتشكيل البنية البلورية المرغوبة تحت ظروف درجة الحرارة والغلاف الجوي والضغط المناسبة. يمكن لتقنية الفوقية هذه التحكم في مطابقة الشبكة وسمكها ونوع المنشطات للطبقة الفوقية، مما يؤثر على أداء الجهاز.
تشمل فوائد LPE SiC epitaxy ما يلي:
جودة كريستال عالية: يمكن لـ LPE أن ينمو بلورات عالية الجودة في درجات حرارة عالية.
التحكم في معلمات الطبقة الفوقي: يمكن التحكم بدقة في سمك الطبقة الفوقي وتطابقها وتطابقها مع الشبكة لتلبية متطلبات جهاز معين.
مناسبة لأجهزة محددة: الطبقات الفوقية SiC مناسبة لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات ذات المتطلبات الخاصة مثل أجهزة الطاقة والأجهزة عالية التردد والأجهزة ذات درجة الحرارة العالية.
في حالة LPE SiC، المنتج النموذجي هو أجزاء نصف القمر. يتم توصيل واقي طلاء CVD SiC المنبع والمصب، الذي تم تجميعه في النصف الثاني من أجزاء نصف القمر، بأنبوب كوارتز، والذي يمكنه تمرير الغاز لدفع قاعدة الدرج للتدوير والتحكم في درجة الحرارة. وهو جزء مهم من تنضيد كربيد السيليكون.
الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC | |
ملكية | القيمة النموذجية |
الهيكل البلوري | FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111). |
كثافة | 3.21 جم/سم3 |
صلابة | 2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام) |
حجم الحبوب | 2 ~ 10 ميكرومتر |
النقاء الكيميائي | 99.99995% |
القدرة الحرارية | 640 جول·كجم-1·ك-1 |
درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
قوة العاطفة | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
معامل يونغ | 430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية |
الموصلية الحرارية | 300 واط·م-1·ك-1 |
التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |