CVD SiC أسطوانة الجرافيت

تعتبر أسطوانة الجرافيت CVD SiC من Vetek Semiconductor محورية في معدات أشباه الموصلات، حيث تعمل كدرع وقائي داخل المفاعلات لحماية المكونات الداخلية في إعدادات درجة الحرارة والضغط المرتفعة. إنه يحمي بشكل فعال من المواد الكيميائية والحرارة الشديدة، ويحافظ على سلامة المعدات. بفضل المقاومة الاستثنائية للتآكل والتآكل، فإنه يضمن طول العمر والاستقرار في البيئات الصعبة. يؤدي استخدام هذه الأغطية إلى تحسين أداء جهاز أشباه الموصلات، وإطالة العمر الافتراضي، والتخفيف من متطلبات الصيانة ومخاطر الضرر. مرحبًا بك في استفسارنا.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تلعب أسطوانة الجرافيت CVD SiC من Vetek Semiconductor دورًا مهمًا في معدات أشباه الموصلات. يتم استخدامه عادةً كغطاء وقائي داخل المفاعل لتوفير الحماية للمكونات الداخلية للمفاعل في بيئات الحرارة المرتفعة والضغط العالي. هذا الغطاء الواقي يمكنه عزل المواد الكيميائية ودرجات الحرارة المرتفعة في المفاعل بشكل فعال، مما يمنعهم من التسبب في تلف المعدات. وفي الوقت نفسه، تتمتع أسطوانة الجرافيت CVD SiC أيضًا بمقاومة ممتازة للتآكل والتآكل، مما يجعلها قادرة على الحفاظ على الاستقرار والمتانة طويلة المدى في بيئات العمل القاسية. وباستخدام الأغطية الواقية المصنوعة من هذه المادة، يمكن تحسين أداء وموثوقية أجهزة أشباه الموصلات، مما يؤدي إلى إطالة عمر خدمة الجهاز مع تقليل احتياجات الصيانة ومخاطر التلف.

لدى CVD SiC Graphite Cylinder مجموعة واسعة من التطبيقات في معدات أشباه الموصلات، بما في ذلك على سبيل المثال لا الحصر الجوانب التالية:

معدات المعالجة الحرارية: يمكن استخدام أسطوانة الجرافيت CVD SiC كغطاء واقي أو درع حراري في معدات المعالجة الحرارية لحماية المكونات الداخلية من درجات الحرارة المرتفعة مع توفير مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية.

مفاعل ترسيب البخار الكيميائي (CVD): في مفاعل CVD، يمكن استخدام أسطوانة الجرافيت CVD SiC كغطاء واقي لغرفة التفاعل الكيميائي، مما يعزل مادة التفاعل بشكل فعال ويوفر مقاومة للتآكل.

التطبيقات في البيئات المسببة للتآكل: نظرًا لمقاومتها الممتازة للتآكل، يمكن استخدام أسطوانة الجرافيت CVD SiC في البيئات المتآكلة كيميائيًا، مثل الغازات المسببة للتآكل أو البيئات السائلة أثناء تصنيع أشباه الموصلات.

معدات نمو أشباه الموصلات: أغطية واقية أو مكونات أخرى تستخدم في معدات نمو أشباه الموصلات لحماية المعدات من درجات الحرارة المرتفعة والتآكل الكيميائي والتآكل لضمان استقرار المعدات وموثوقيتها على المدى الطويل.

ثبات في درجات الحرارة العالية، ومقاومة للتآكل، وخصائص ميكانيكية ممتازة، وموصلية حرارية. ومع هذه الأداء الممتاز، فإنه يساعد على تبديد الحرارة بشكل أكثر كفاءة في أجهزة أشباه الموصلات، مما يحافظ على استقرار وأداء الجهاز.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC:

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC
ملكية	القيمة النموذجية
الهيكل البلوري	FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111).
كثافة	3.21 جم/سم3
صلابة	2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
حجم الحبوب	2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي	99.99995%
القدرة الحرارية	640 جول·كجم-1·ك-1
درجة حرارة التسامي	2700 درجة مئوية
قوة العاطفة	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونغ	430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
الموصلية الحرارية	300 واط·م-1·ك-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5×10-6K-1