مجداف ناتئ SiC عالي النقاء

يعد مجداف الكابولي عالي النقاء من SiC مكونًا رئيسيًا يستخدم في معدات معالجة أشباه الموصلات. المنتج مصنوع من مادة كربيد السيليكون عالية النقاء (SiC). إلى جانب خصائصه الممتازة المتمثلة في النقاء العالي والاستقرار الحراري العالي ومقاومة التآكل، فإنه يستخدم على نطاق واسع في عمليات مثل نقل الرقاقة والدعم والمعالجة بدرجة حرارة عالية، مما يوفر ضمانًا موثوقًا به لضمان دقة العملية وجودة المنتج.

بشكل عام، يلعب المجداف الكابولي عالي النقاء من SiC الأدوار المحددة التالية في عملية معالجة أشباه الموصلات:

نقل الرقاقة: عادةً ما يتم استخدام المجداف الكابولي عالي النقاء من SiC كجهاز نقل الرقاقات في أفران الانتشار أو الأكسدة ذات درجة الحرارة العالية. صلابتها العالية تجعلها مقاومة للتآكل وليس من السهل تشويهها أثناء الاستخدام طويل الأمد، ويمكن أن تضمن بقاء الرقاقة في موضعها بدقة أثناء عملية النقل. إلى جانب درجة الحرارة العالية ومقاومتها للتآكل، يمكنها نقل الرقاقات بأمان داخل وخارج أنبوب الفرن في بيئات ذات درجة حرارة عالية دون التسبب في أي تلوث أو تلف للرقاقات.

دعم الرقاقة: تتمتع مادة SiC بمعامل تمدد حراري منخفض، مما يعني أن حجمها يتغير بشكل أقل عند تغير درجة الحرارة، مما يساعد في الحفاظ على التحكم الدقيق في العملية. في عمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) أو ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، يتم استخدام مجداف الكابولي SiC لدعم وتثبيت الرقاقة لضمان بقاء الرقاقة مستقرة ومسطحة أثناء عملية الترسيب، وبالتالي تحسين توحيد وجودة الفيلم .

تطبيق عمليات درجة حرارة عالية: يتميز مجداف SiC Cantilever بثبات حراري ممتاز ويمكنه تحمل درجات حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية. لذلك، يتم استخدام هذا المنتج على نطاق واسع في التلدين بدرجة حرارة عالية، والأكسدة، والانتشار وغيرها من العمليات.

الخصائص الفيزيائية الأساسية للمجداف الكابولي عالي النقاء من SiC:

مجداف ناتئ SiC عالي النقاءالمحلات التجارية:

نظرة عامة على سلسلة صناعة رقائق أشباه الموصلات: