حاملة قوارب ويفر SiC عالية النقاء

تقدم شركة VeTek Semiconductor حاملة قوارب من رقائق SiC عالية النقاء مخصصة. مصنوعة من كربيد السيليكون عالي النقاء، وتتميز بفتحات لتثبيت الرقاقة في مكانها، مما يمنعها من الانزلاق أثناء المعالجة. طلاء CVD SiC متاح أيضًا إذا لزم الأمر. باعتبارها شركة مصنعة وموردة محترفة وقوية لأشباه الموصلات، فإن حاملة القارب عالية النقاء SiC من شركة VeTek Semiconductor تتميز بأسعار تنافسية وجودة عالية. تتطلع شركة VeTek Semiconductor إلى أن تكون شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يعتبر حامل قارب رقاقة SiC عالي النقاء VeTekSemi مكونًا مهمًا يستخدم في أفران التلدين وأفران الانتشار وغيرها من المعدات في عملية تصنيع أشباه الموصلات. عادةً ما يتم تصنيع حاملة القارب برقاقة SiC عالية النقاء من مادة كربيد السيليكون عالية النقاء وتتضمن بشكل أساسي الأجزاء التالية:

• هيئة دعم القارب: هيكل مشابه للقوس، يستخدم خصيصًا للحملرقائق السيليكونأو غيرها من المواد شبه الموصلة.

• هيكل الدعم: تصميم هيكل الدعم الخاص به يمكّنه من تحمل الأحمال الثقيلة في درجات حرارة عالية ولن يتشوه أو يتلف أثناء المعالجة بدرجة حرارة عالية.

silicon carbide material

مادة كربيد السيليكون

الخصائص الفيزيائيةكربيد السيليكون المعاد بلورته：

ملكية	القيمة النموذجية
درجة حرارة العمل (درجة مئوية)	1600 درجة مئوية (مع الأكسجين)، 1700 درجة مئوية (تقليل البيئة)
محتوى كربيد السيليكون	> 99.96%
محتوى سي مجاني	<0.1%
الكثافة الظاهرية	2.60-2.70 جم/سم3
المسامية الظاهرة	< 16%
قوة الضغط	> 600 ميجا باسكال
قوة الانحناء الباردة	80-90 ميجا باسكال (20 درجة مئوية)
قوة الانحناء الساخنة	90-100 ميجا باسكال (1400 درجة مئوية)
التمدد الحراري عند 1500 درجة مئوية	4.70*10^-6/ درجة مئوية
الموصلية الحرارية عند 1200 درجة مئوية	23 واط/م•ك
معامل مرن	معامل المرونة 240 جيجا باسكال
مقاومة الصدمات الحرارية	جيد جدًا

إذا كانت متطلبات عملية الإنتاج أعلى،طلاء CVD SiCيمكن إجراؤها على حامل القارب عالي النقاء من SiC لجعل النقاء يصل إلى أكثر من 99.99995٪، مما يزيد من تحسين مقاومته لدرجات الحرارة العالية.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC:

ملكية	القيمة النموذجية
الهيكل البلوري	FCC β مرحلة متعددة البلورات، موجهة بشكل رئيسي (111).
كثافة	3.21 جم/سم3
صلابة	2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
حجم الحبوب	2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي	99.99995%
القدرة الحرارية	640 جول·كجم^-1· ك^-1
درجة حرارة التسامي	2700 درجة مئوية
قوة العاطفة	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونغ	430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
الموصلية الحرارية	300 واط · م^-1· ك^-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5×10^-6K^-1

أثناء المعالجة بدرجة حرارة عالية، يتيح حامل القارب عالي النقاء لرقاقة SiC إمكانية تسخين رقاقة السيليكون بالتساوي لتجنب ارتفاع درجة الحرارة المحلية. بالإضافة إلى ذلك، فإن مقاومة درجات الحرارة العالية لمادة كربيد السيليكون تمكنها من الحفاظ على الاستقرار الهيكلي عند درجات حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية أو أعلى. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

أثناء عملية الانتشار أو التلدين، يعمل المجداف الكابولي وحامل القارب عالي النقاء من SiC معًا. المجداف ناتئيدفع ببطء حامل قارب رقاقة SiC عالي النقاء الذي يحمل رقاقة السيليكون إلى غرفة الفرن ويوقفها في موضع معين للمعالجة.

يحافظ حامل القارب عالي النقاء من SiC على الاتصال برقاقة السيليكون ويتم تثبيته في موضع محدد أثناء عملية المعالجة الحرارية، بينما يساعد المجداف الكابولي في الحفاظ على الهيكل بأكمله في الموضع الصحيح مع ضمان توحيد درجة الحرارة.

يعمل حامل القارب عالي النقاء من SiC والمجداف الكابولي معًا لضمان دقة واستقرار عملية درجة الحرارة المرتفعة.

توفر لك شركة VeTek Semiconductor حاملة قوارب من رقائق SiC عالية النقاء مخصصة وفقًا لاحتياجاتك. نتطلع إلى سؤالكم.

فيتيك لأشباه الموصلاتمحلات نقل القوارب المصنوعة من رقائق الرقاقة SiC عالية النقاء:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops