حاملة رقائق SiC الأفقية

فيتيك لأشباه الموصلاتحاملة رقائق SiC الأفقية/القارب لديه نقطة انصهار عالية للغاية (حوالي 2700 درجة مئوية)، والتي تمكن منحاملة رقائق SiC الأفقية/قارب للعمل بثبات في بيئات درجة حرارة عالية دون تشوه أو تدهور. هذه الميزة مهمة بشكل خاص في عملية تصنيع أشباه الموصلات، وخاصة في عمليات مثل التلدين بدرجة حرارة عالية أو ترسيب البخار الكيميائي (CVD).

الحاملة رقائق SiC الأفقية/يلعب القارب على وجه التحديد الأدوار التالية في عملية حمل حاملات الرقاقات:

رقاقة السيليكون تحمل ودعم: يتم استخدام قارب الويفر الأفقي SiC بشكل أساسي لحمل ودعم رقائق السيليكون أثناء تصنيع أشباه الموصلات. يمكنه ترتيب رقائق السيليكون المتعددة معًا بشكل محكم لضمان بقائها في وضع جيد واستقرار طوال عملية المعالجة بأكملها.

التدفئة والتبريد موحدة: نظرًا للتوصيل الحراري العالي لـ SiC، يمكن لـ Wafer Boat توزيع الحرارة بشكل فعال بالتساوي على جميع رقائق السيليكون. وهذا يساعد على تحقيق تسخين أو تبريد موحد لرقائق السيليكون أثناء المعالجة بدرجة حرارة عالية، مما يضمن اتساق وموثوقية عملية المعالجة.

منع التلوث: الاستقرار الكيميائي لـ SiC يمكّنه من الأداء الجيد في بيئات الغاز ذات درجة الحرارة العالية والتآكل، مما يقلل من تعرض رقائق السيليكون للملوثات أو المواد المتفاعلة المحتملة، مما يضمن نقاء وجودة رقائق السيليكون.

في الواقع، يمكن لقارب الويفر الأفقي SiC أن يلعب الدور المذكور أعلاه نظرًا لخصائص المنتج الفريدة:

استقرار كيميائي ممتاز: تتمتع مادة SiC بمقاومة ممتازة للتآكل لمجموعة متنوعة من الوسائط الكيميائية. في عملية معالجة الغازات أو السوائل المسببة للتآكل، يمكن لـ SiC Wafer Boat مقاومة التآكل الكيميائي بشكل فعال وحماية رقائق السيليكون من التلوث أو التلف.

الموصلية الحرارية العالية: تساعد الموصلية الحرارية العالية لـ SiC على توزيع الحرارة بالتساوي في عملية الناقل وتقليل تراكم الحرارة. وهذا يمكن أن يحسن دقة التحكم في درجة الحرارة أثناء المعالجة الدقيقة ويضمن تسخين أو تبريد موحد لرقائق السيليكون.

معامل التمدد الحراري المنخفض: معامل التمدد الحراري المنخفض لمادة SiC يعني أن التغير في أبعاد قارب SiC Wafer Boat صغير جدًا أثناء التغيرات في درجات الحرارة. يساعد هذا في الحفاظ على ثبات الأبعاد أثناء المعالجة بدرجة حرارة عالية ويمنع التشوه أو الإزاحة الموضعية لرقائق السيليكون الناتجة عن التمدد الحراري.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لحامل رقاقة SiC الأفقي:

متجر VeTek لإنتاج أشباه الموصلات:

نظرة عامة على سلسلة صناعة رقائق أشباه الموصلات: