مرحبًا بكم في شركة VeTek Semiconductor، الشركة المصنعة الموثوقة لطلاءات CVD SiC. نحن نفخر بتقديم Aixtron SiC Coating Top، والتي تم تصميمها بخبرة باستخدام الجرافيت عالي النقاء وتتميز بطبقة CVD SiC المتطورة مع شوائب أقل من 5 جزء في المليون. من فضلك لا تتردد في التواصل معنا مع أي أسئلة أو استفسارات
مع سنوات من الخبرة في إنتاج طلاء TaC وطلاء SiC، يمكن لشركة VeTek Semiconductor توفير مجموعة واسعة من أعلى مجمع طلاء SiC، ومركز التجميع، وقاع المجمع لنظام Aixtron. يمكن لـ SiC Coating Collector Top عالي الجودة تلبية العديد من التطبيقات، إذا كنت بحاجة، يرجى الحصول على خدمتنا عبر الإنترنت في الوقت المناسب حول SiC Coating Collector Top. بالإضافة إلى قائمة المنتجات أدناه، يمكنك أيضًا تخصيص الجزء العلوي الفريد الخاص بك من SiC Coating Collector وفقًا لاحتياجاتك الخاصة.
إن الجزء العلوي من مجمع طلاء SiC، ومركز تجميع طلاء SiC، وأسفل مجمع طلاء SiC هي المكونات الأساسية الثلاثة المستخدمة في عملية تصنيع أشباه الموصلات. دعونا نناقش كل منتج على حدة:
يلعب VeTek Semiconductor SiC Coating Top دورًا حاسمًا في عملية ترسيب أشباه الموصلات. إنه بمثابة هيكل داعم للمادة المودعة، مما يساعد على الحفاظ على التماثل والثبات أثناء الترسيب. كما أنه يساعد في الإدارة الحرارية، وتبديد الحرارة المتولدة أثناء العملية بشكل فعال. يضمن الجزء العلوي من المجمع الترتيب والتوزيع الصحيح للمواد المودعة، مما يؤدي إلى نمو فيلم عالي الجودة ومتسق.
يعمل طلاء SiC الموجود على الجزء العلوي من المجمع ومركز المجمع وأسفل المجمع بشكل كبير على تحسين أدائها ومتانتها. يُعرف طلاء SiC (كربيد السيليكون) بموصليته الحرارية الممتازة والخمول الكيميائي ومقاومته للتآكل. يوفر طلاء SiC الموجود في الجزء العلوي والوسط والأسفل للمجمع إمكانات ممتازة للإدارة الحرارية، مما يضمن تبديد الحرارة بكفاءة والحفاظ على درجات حرارة العملية المثالية. كما أنها تتمتع بمقاومة كيميائية ممتازة، مما يحمي المكونات من البيئات المسببة للتآكل ويطيل عمر الخدمة. تساعد خصائص طلاءات SiC على تحسين استقرار عمليات تصنيع أشباه الموصلات وتقليل العيوب وتحسين جودة الفيلم.
الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC | |
ملكية | القيمة النموذجية |
الهيكل البلوري | FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111). |
كثافة | 3.21 جم/سم3 |
صلابة | 2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام) |
حجم الحبوب | 2 ~ 10 ميكرومتر |
النقاء الكيميائي | 99.99995% |
السعة الحرارية | 640 جول·كجم-1·ك-1 |
درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
قوة العاطفة | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
معامل يونج | 430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية |
توصيل حراري | 300 واط·م-1·ك-1 |
التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |