طلاء كربيد السيليكون أجزاء الجرافيت نصف القمر

باعتبارها شركة مصنعة وموردة محترفة لأشباه الموصلات، يمكن لشركة VeTek Semiconductor توفير مجموعة متنوعة من مكونات الجرافيت المطلوبة لأنظمة النمو الفوقي SiC. تم تصميم أجزاء الجرافيت نصف القمر المطلية بـ SiC لقسم مدخل الغاز في المفاعل الفوقي وتلعب دورًا حيويًا في تحسين عملية تصنيع أشباه الموصلات. تسعى شركة VeTek Semiconductor دائمًا إلى تزويد العملاء بأفضل المنتجات عالية الجودة وبأسعار تنافسية. تتطلع شركة VeTek Semiconductor إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

في غرفة التفاعل في فرن النمو الفوقي من SiC، تعد أجزاء الجرافيت Halfmoon المطلية بـ SiC مكونات رئيسية لتحسين توزيع تدفق الغاز، والتحكم في المجال الحراري، وتوحيد جو التفاعل. عادة ما تكون مصنوعة من طلاء SiCالجرافيت، مصممة على شكل نصف قمر، وتقع في الأجزاء العلوية والسفلية من الجرافيت في غرفة التفاعل، المحيطة بمنطقة الركيزة.

SiC epitaxial growth furnace schematic diagram

•الجزء العلوي من نصف القمر من الجرافيت: مثبت في الجزء العلوي من غرفة التفاعل، بالقرب من مدخل الغاز، وهو مسؤول عن توجيه غاز التفاعل للتدفق نحو سطح الركيزة.

•الجزء السفلي من الجرافيت بنصف القمر: يقع في الجزء السفلي من غرفة التفاعل، عادة أسفل حامل الركيزة، ويستخدم للتحكم في اتجاه تدفق الغاز وتحسين المجال الحراري وتوزيع الغاز في الجزء السفلي من الركيزة.

خلالعملية الفوقية SiC، يساعد الجزء العلوي من الجرافيت على شكل نصف قمر في توجيه تدفق الغاز ليتم توزيعه بالتساوي على الركيزة، مما يمنع الغاز من التأثير المباشر على سطح الركيزة والتسبب في ارتفاع درجة الحرارة المحلية أو اضطراب تدفق الهواء. يسمح الجزء السفلي من الجرافيت على شكل نصف القمر للغاز بالتدفق بسلاسة عبر الركيزة ومن ثم تفريغه، مع منع الاضطراب من التأثير على انتظام نمو الطبقة الفوقي.

فيما يتعلق بتنظيم المجال الحراري، تساعد أجزاء الجرافيت Halfmoon المطلية بطبقة SiC على توزيع الحرارة بالتساوي في غرفة التفاعل من خلال الشكل والموضع. يمكن للجزء العلوي من الجرافيت نصف القمر أن يعكس بشكل فعال الحرارة المشعة للسخان لضمان استقرار درجة الحرارة فوق الركيزة. وللجزء السفلي من الجرافيت على شكل نصف القمر أيضًا دور مماثل، حيث يساعد على توزيع الحرارة بالتساوي أسفل الركيزة من خلال التوصيل الحراري لمنع الاختلافات المفرطة في درجات الحرارة.

يجعل طلاء SiC المكونات مقاومة لدرجات الحرارة المرتفعة وموصلة للحرارة، لذا فإن أجزاء نصف القمر من VeTek Semiconductor تتمتع بعمر خدمة طويل. تم تصميم أجزاء الجرافيت نصف القمر الخاصة بنا لطبقة SiC بعناية، ويمكن دمجها بسلاسة في العديد من المفاعلات الفوقية، مما يساعد على تحسين الكفاءة والموثوقية الشاملة لعملية تصنيع أشباه الموصلات. مهما كانت احتياجات أجزاء الجرافيت Halfmoon المطلية بطبقة SiC، يرجى الاتصال بشركة VeTek Semiconductor.

فيتيكسيممحلات قطع غيار الجرافيت ذات طلاء نصف القمر من SiC:

الكلمات الساخنة: أجزاء الجرافيت نصف القمر المطلية بـ SiC، نصف القمر الجرافيت النقي العالي، أجزاء الجرافيت نصف القمر، الشركة المصنعة، المورد، المصنع، حسب الطلب، صنع في الصين

علامة المنتج

الفئة ذات الصلة