تركز شركة Vetek Semiconductor على البحث والتطوير وتصنيع طلاء CVD SiC وطلاء CVD TaC. بأخذ مادة طلاء SiC كمثال، تتم معالجة المنتج بدرجة عالية بدقة عالية وطلاء CVD SIC كثيف ومقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة قوية للتآكل. التحقيق في لنا هو موضع ترحيب.
يمكنك أن تطمئن إلى شراء مادة طلاء SiC من مصنعنا.
باعتبارها الشركة المصنعة لطلاء CVD SiC، تود شركة VeTek Semiconductor أن توفر لك مستقبلات طلاء SiC المصنوعة من الجرافيت عالي النقاء ومستقبل طلاء SiC (أقل من 5 جزء في المليون). مرحبًا بك في استفسارنا.
في Vetek Semiconductor، نحن متخصصون في أبحاث التكنولوجيا والتطوير والتصنيع، ونقدم مجموعة من المنتجات المتقدمة لهذه الصناعة. يشتمل خط منتجاتنا الرئيسي على طلاء CVD SiC + جرافيت عالي النقاء، ومستقبل طلاء SiC، وكوارتز أشباه الموصلات، وطلاء CVD TaC + جرافيت عالي النقاء، ولباد صلب، ومواد أخرى.
أحد منتجاتنا الرئيسية هو SiC Coating Susceptor، الذي تم تطويره باستخدام تقنية مبتكرة لتلبية المتطلبات الصارمة لإنتاج الرقائق الفوقي. يجب أن تظهر الرقائق الفوقية توزيعًا محكمًا للطول الموجي ومستويات منخفضة من العيوب السطحية، مما يجعل مُستقبل طلاء SiC الخاص بنا مكونًا أساسيًا في تحقيق هذه المعلمات الحاسمة.
حماية المواد الأساسية: يعمل طلاء CVD SiC كطبقة واقية أثناء العملية الفوقية، مما يحمي المادة الأساسية بشكل فعال من التآكل والأضرار الناجمة عن البيئة الخارجية. يعمل هذا الإجراء الوقائي على إطالة عمر خدمة المعدات بشكل كبير.
موصلية حرارية ممتازة: يتميز طلاء CVD SiC الخاص بنا بموصلية حرارية متميزة، حيث ينقل الحرارة بكفاءة من المادة الأساسية إلى سطح الطلاء. وهذا يعزز كفاءة الإدارة الحرارية أثناء مرحلة النضوج، مما يضمن درجات حرارة التشغيل المثالية للمعدات.
تحسين جودة الفيلم: يوفر طلاء CVD SiC سطحًا مسطحًا وموحدًا، مما يخلق أساسًا مثاليًا لنمو الفيلم. إنه يقلل من العيوب الناتجة عن عدم تطابق الشبكة، ويعزز تبلور وجودة الفيلم الفوقي، ويحسن في النهاية أدائه وموثوقيته.
اختر جهاز Susceptor الخاص بنا لطلاء SiC لتلبية احتياجات إنتاج الرقاقة الفوقية الخاصة بك، واستفد من الحماية المعززة، والتوصيل الحراري الفائق، وجودة الفيلم المحسنة. ثق في حلول VeTek Semiconductor المبتكرة لتحقيق نجاحك في صناعة أشباه الموصلات.
الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC | |
ملكية | القيمة النموذجية |
الهيكل البلوري | FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111). |
كثافة | 3.21 جم/سم3 |
صلابة | 2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام) |
حجم الحبوب | 2 ~ 10 ميكرومتر |
النقاء الكيميائي | 99.99995% |
السعة الحرارية | 640 جول·كجم-1·ك-1 |
درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
قوة العاطفة | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
معامل يونج | 430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية |
توصيل حراري | 300 واط·م-1·ك-1 |
التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |