شركة VeTek Semiconductor متخصصة في إنتاج منتجات طلاء كربيد السيليكون فائقة النقاء، وقد تم تصميم هذه الطلاءات ليتم تطبيقها على الجرافيت المنقى والسيراميك والمكونات المعدنية المقاومة للحرارة.
يتم استهداف الطلاءات عالية النقاء الخاصة بنا في المقام الأول للاستخدام في صناعات أشباه الموصلات والإلكترونيات. إنها بمثابة طبقة واقية لحاملات الرقاقات والمستقبلات وعناصر التسخين، مما يحميها من البيئات المسببة للتآكل والتفاعل التي تواجهها في عمليات مثل MOCVD وEPI. تعد هذه العمليات جزءًا لا يتجزأ من معالجة الرقاقات وتصنيع الأجهزة. بالإضافة إلى ذلك، فإن طلاءاتنا مناسبة تمامًا للتطبيقات في أفران التفريغ وتسخين العينات، حيث توجد بيئات عالية التفريغ والتفاعل والأكسجين.
في شركة VeTek Semiconductor، نقدم حلاً شاملاً من خلال إمكانيات ورشة الآلات المتقدمة لدينا. يتيح لنا ذلك تصنيع المكونات الأساسية باستخدام الجرافيت أو السيراميك أو المعادن المقاومة للحرارة وتطبيق طلاءات السيراميك SiC أو TaC داخل الشركة. كما نقوم بتوفير خدمات الطلاء للأجزاء التي يقدمها العملاء، مما يضمن المرونة لتلبية الاحتياجات المتنوعة.
تُستخدم منتجات طلاء كربيد السيليكون لدينا على نطاق واسع في طبقة Si، وطبقة SiC، ونظام MOCVD، وعملية RTP/RTA، وعملية النقش، وعملية النقش ICP/PSS، وعملية أنواع LED المختلفة، بما في ذلك LED الأزرق والأخضر، وLED UV والأشعة فوق البنفسجية العميقة LED وما إلى ذلك، والتي تم تكييفها مع المعدات من LPE وAixtron وVeeco وNuflare وTEL وASM وAnnealsys وTSI وما إلى ذلك.
الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC | |
ملكية | القيمة النموذجية |
الهيكل البلوري | FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111). |
كثافة | 3.21 جم/سم3 |
صلابة | 2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام) |
حجم الحبوب | 2 ~ 10 ميكرومتر |
النقاء الكيميائي | 99.99995% |
القدرة الحرارية | 640 جول·كجم-1·ك-1 |
درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
قوة العاطفة | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
معامل يونغ | 430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية |
الموصلية الحرارية | 300 واط·م-1·ك-1 |
التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |