ما هو طلاء CVD TAC؟

وكما علمنا جميعاًتاكلديه نقطة انصهار تصل إلى 3880 درجة مئوية، وقوة ميكانيكية عالية، وصلابة، ومقاومة الصدمات الحرارية؛ خمول كيميائي جيد وثبات حراري للأمونيا والهيدروجين والبخار المحتوي على السيليكون عند درجات حرارة عالية.

طلاء CVD TACترسيب البخار الكيميائي (CVD) للطلاء كربيد التنتالوم (TaC).، هي عملية لتشكيل طبقة عالية الكثافة ومتينة على الركيزة (عادة الجرافيت). تتضمن هذه الطريقة ترسيب TaC على سطح الركيزة عند درجات حرارة عالية، مما يؤدي إلى طلاء ذو ​​ثبات حراري ممتاز ومقاومة كيميائية.

تشمل المزايا الرئيسية لطلاءات CVD TaC ما يلي:

استقرار حراري عالي للغاية: يمكن أن يتحمل درجات حرارة تتجاوز 2200 درجة مئوية.

المقاومة الكيميائية: يمكنه مقاومة المواد الكيميائية القاسية بشكل فعال مثل الهيدروجين والأمونيا وبخار السيليكون.

التصاق قوي: يضمن حماية طويلة الأمد دون التصفيح.

درجة نقاء عالية: يقلل من الشوائب، مما يجعله مثاليًا لتطبيقات أشباه الموصلات.

تعتبر هذه الطلاءات مناسبة بشكل خاص للبيئات التي تتطلب متانة عالية ومقاومة للظروف القاسية، مثل تصنيع أشباه الموصلات والعمليات الصناعية ذات درجات الحرارة العالية.

في الإنتاج الصناعي، من المرجح جدًا أن تحل مواد الجرافيت (مركب الكربون والكربون) المطلية بطبقة TaC محل الجرافيت التقليدي عالي النقاء، وطلاء pBN، وأجزاء طلاء SiC، وما إلى ذلك. بالإضافة إلى ذلك، في مجال الطيران، يتمتع TaC بإمكانيات كبيرة لـ يمكن استخدامه كطلاء مضاد للأكسدة ومضاد للاجتثاث بدرجة حرارة عالية، وله آفاق تطبيق واسعة. ومع ذلك، لا يزال هناك العديد من التحديات لتحقيق إعداد طلاء TaC كثيف وموحد وغير قابل للتقشر على سطح الجرافيت وتعزيز الإنتاج الصناعي الضخم.

في هذه العملية، يعد استكشاف آلية حماية الطلاء، وابتكار عملية الإنتاج، والتنافس مع المستوى الأجنبي الأعلى أمرًا بالغ الأهمية لنمو بلورات أشباه الموصلات من الجيل الثالث والتنقيط.