حامل طلاء CVD TaC

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في مجال تصنيع طلاء CVD TaC الصيني، EPITAXY SUSCEPTOR،جهاز استقبال الجرافيت المطلي بـ TaCالشركة المصنعة.

من خلال البحث المستمر في العمليات والابتكارات المادية، يلعب حامل الطلاء CVD TaC الخاص بشركة Vetek Semiconductor دورًا حاسمًا للغاية في العملية الفوقي، بما في ذلك الجوانب التالية بشكل أساسي:

حماية الركيزة: يوفر حامل الطلاء CVD TaC ثباتًا كيميائيًا ممتازًا وثباتًا حراريًا، مما يمنع بشكل فعال درجات الحرارة المرتفعة والغازات المسببة للتآكل من تآكل الركيزة والجدار الداخلي للمفاعل، مما يضمن نقاء واستقرار بيئة العملية.

التوحيد الحراري: بالاشتراك مع الموصلية الحرارية العالية لحامل طلاء CVD TaC، فإنه يضمن توحيد توزيع درجة الحرارة داخل المفاعل، ويحسن جودة البلورة وتوحيد سمك الطبقة الفوقية، ويعزز اتساق أداء المنتج النهائي.

التحكم في تلوث الجسيمات: بما أن الناقلات المطلية بـ CVD TaC لديها معدلات توليد جسيمات منخفضة للغاية، فإن خصائص السطح الأملس تقلل بشكل كبير من خطر التلوث بالجسيمات، وبالتالي تحسين النقاء والإنتاج أثناء النمو الفوقي.

تمديد عمر المعدات: إلى جانب مقاومة التآكل الممتازة ومقاومة التآكل لحامل الطلاء CVD TaC، فإنه يعمل على إطالة عمر خدمة مكونات غرفة التفاعل بشكل كبير، ويقلل من وقت توقف المعدات وتكاليف الصيانة، ويحسن كفاءة الإنتاج.

من خلال الجمع بين الخصائص المذكورة أعلاه، لا تعمل حاملة الطلاء CVD TaC من VeTek Semiconductor على تحسين موثوقية العملية وجودة المنتج في عملية النمو الفوقي فحسب، بل توفر أيضًا حلاً فعالاً من حيث التكلفة لتصنيع أشباه الموصلات.

طلاء كربيد التنتالوم على مقطع عرضي مجهري:

الخصائص الفيزيائية لحامل طلاء CVD TaC:

ورشة إنتاج طلاء VeTek لأشباه الموصلات CVD SiC: