كربيد التنتالوم المسامي: جيل جديد من المواد لنمو بلورات SiC

مع الإنتاج الضخم التدريجي لركائز SiC الموصلة، يتم وضع متطلبات أعلى على استقرار العملية وتكرارها. وعلى وجه الخصوص، فإن التحكم في العيوب أو التعديلات الطفيفة أو الانجرافات في المجال الحراري في الفرن سيؤدي إلى تغيرات في البلورة أو زيادة في العيوب.

وفي المرحلة اللاحقة، سنواجه التحدي المتمثل في "النمو بشكل أسرع وأكثر سمكًا وأطول". بالإضافة إلى تحسين النظرية والهندسة، هناك حاجة إلى مواد مجال حراري أكثر تقدمًا كدعم. استخدم مواد متقدمة لزراعة بلورات متقدمة.

الاستخدام غير السليم لمواد مثل الجرافيت والجرافيت المسامي ومسحوق كربيد التنتالوم في البوتقة في المجال الحراري سيؤدي إلى عيوب مثل زيادة شوائب الكربون. بالإضافة إلى ذلك، في بعض التطبيقات، لا تكون نفاذية الجرافيت المسامي كافية، ويجب فتح ثقوب إضافية لزيادة النفاذية. يواجه الجرافيت المسامي ذو النفاذية العالية تحديات مثل المعالجة وفقدان المسحوق والحفر.

في الآونة الأخيرة، أطلقت VeTek Semiconductor جيلًا جديدًا من مواد المجال الحراري لنمو كريستال SiC،كربيد التنتالوم المسامي، لأول مرة في العالم.

يتمتع كربيد التنتالوم بقوة وصلابة عالية، كما أن جعله مساميًا أكثر صعوبة. بل إن الأمر الأكثر صعوبة هو صنع كربيد التنتالوم المسامي ذو المسامية الكبيرة والنقاء العالي. أطلقت شركة VeTek Semiconductor كربيد التنتالوم المسامي المتطور ذو المسامية الكبيرة،مع مسامية قصوى تصل إلى 75%، لتصل إلى المستوى الرائد عالميًا.

بالإضافة إلى ذلك، يمكن استخدامه لترشيح مكونات الطور الغازي، وضبط تدرجات درجة الحرارة المحلية، وتوجيه اتجاه تدفق المواد، والتحكم في التسرب، وما إلى ذلك؛ يمكن دمجه مع كربيد التنتالوم الصلب الآخر (كثيف) أو طلاء كربيد التنتالوم من VeTek Semiconductor لتشكيل مكونات ذات موصلات تدفق محلية مختلفة؛ يمكن إعادة استخدام بعض المكونات.

المعلمات التقنية

المسامية ≥75% رائدة عالميًا

الشكل: تقشر، أسطواني عالمي رائد

مسامية موحدة

يحتوي VeTek أشباه الموصلات المسامية كربيد التنتالوم (TaC) على ميزات المنتج التالية

●   المسامية للتطبيقات متعددة الاستخدامات

يوفر الهيكل المسامي لـ TaC وظائف متعددة، مما يتيح استخدامه في سيناريوهات متخصصة مثل:

انتشار الغاز: يسهل التحكم الدقيق في تدفق الغاز في عمليات أشباه الموصلات.

الترشيح: مثالي للبيئات التي تتطلب فصل جسيمات عالي الأداء.

تبديد الحرارة التي تسيطر عليها: يدير الحرارة بكفاءة في أنظمة درجة الحرارة العالية، مما يعزز التنظيم الحراري الشامل.

●   مقاومة شديدة لدرجات الحرارة العالية

مع نقطة انصهار تبلغ حوالي 3880 درجة مئوية، يتفوق كربيد التنتالوم في التطبيقات ذات درجات الحرارة العالية جدًا. تضمن هذه المقاومة الاستثنائية للحرارة أداءً ثابتًا في الظروف التي تفشل فيها معظم المواد.

●   صلابة ومتانة فائقة

من 9 إلى 10 على مقياس صلابة موس، على غرار الماس، يُظهر Porous TaC مقاومة لا مثيل لها للتآكل الميكانيكي، حتى تحت الضغط الشديد. هذه المتانة تجعلها مثالية للتطبيقات المعرضة للبيئات الكاشطة.

●   استقرار حراري استثنائي

يحتفظ كربيد التنتالوم بسلامته الهيكلية وأدائه في الحرارة الشديدة. ويضمن استقراره الحراري الرائع التشغيل الموثوق به في الصناعات التي تتطلب اتساقًا في درجات الحرارة العالية، مثل تصنيع أشباه الموصلات والفضاء.

●   موصلية حرارية ممتازة

على الرغم من طبيعته المسامية، يحافظ Porous TaC على نقل الحرارة بكفاءة، مما يتيح استخدامه في الأنظمة التي يكون فيها التبديد السريع للحرارة أمرًا بالغ الأهمية. تعمل هذه الميزة على تعزيز إمكانية تطبيق المادة في العمليات كثيفة الحرارة.

●   تمدد حراري منخفض لتحقيق استقرار الأبعاد

بفضل معامل التمدد الحراري المنخفض، يقاوم كربيد التنتالوم تغيرات الأبعاد الناجمة عن تقلبات درجات الحرارة. تعمل هذه الخاصية على تقليل الضغط الحراري، مما يزيد من عمر المكونات ويحافظ على الدقة في الأنظمة الحيوية.

في صناعة أشباه الموصلات، يلعب كربيد التنتالوم المسامي (TaC) الأدوار الرئيسية المحددة التالية

●  في العمليات ذات درجات الحرارة العالية مثل النقش بالبلازما والأمراض القلبية الوعائية، غالبًا ما يستخدم كربيد التنتالوم المسامي لأشباه الموصلات VeTek كطبقة واقية لمعدات المعالجة. ويرجع ذلك إلى مقاومة التآكل القوية لطلاء TaC واستقراره في درجات الحرارة العالية. تضمن هذه الخصائص أنه يحمي بشكل فعال الأسطح المعرضة للغازات التفاعلية أو درجات الحرارة القصوى، وبالتالي ضمان التفاعل الطبيعي للعمليات ذات درجات الحرارة المرتفعة.

●  في عمليات الانتشار، يمكن أن يعمل كربيد التنتالوم المسامي كحاجز انتشار فعال لمنع اختلاط المواد في العمليات ذات درجات الحرارة العالية. غالبًا ما تُستخدم هذه الميزة للتحكم في انتشار المنشطات في عمليات مثل زرع الأيونات والتحكم في نقاء رقائق أشباه الموصلات.

●  الهيكل المسامي لأشباه الموصلات VeTek Porous Tantalum Carbide مناسب جدًا لبيئات معالجة أشباه الموصلات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في تدفق الغاز أو ترشيحه. في هذه العملية، يلعب Porous TaC بشكل رئيسي دور ترشيح الغاز وتوزيعه. ويضمن خموله الكيميائي عدم إدخال أي ملوثات أثناء عملية الترشيح. وهذا يضمن بشكل فعال نقاء المنتج المعالج.

حول شركة VeTek لأشباه الموصلات

باعتبارنا شركة صينية متخصصة في تصنيع وتوريد كربيد التنتالوم المسامي، لدينا مصنعنا الخاص. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء كربيد التنتالوم المسامي المتقدم والمتين المصنوع في الصين، يمكنك ترك رسالة لنا.

إذا كان لديك أي استفسار أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية حولكربيد التنتالوم المسامي、كربيد التنتالوم المطلي بالجرافيت المساميوغيرهاالمكونات المغلفة كربيد التنتالوم, من فضلك لا تتردد في الاتصال بنا.

☏☏☏الغوغاء / واتساب: +86-180 6922 0752

☏☏☏البريد الإلكتروني: anny@veteksemi.com