كربيد التنتالوم المطلي بالجرافيت المسامي

أصبح الجرافيت المسامي المطلي بكربيد التنتالوم من VeTek بلورة كربيد السيليكون (SiC) نظرًا لمقاومته الفائقة لدرجات الحرارة العالية (نقطة الانصهار حوالي 3880 درجة مئوية)، والثبات الحراري الممتاز، والقوة الميكانيكية والخمول الكيميائي في البيئات ذات درجات الحرارة المرتفعة. مادة لا غنى عنها في عملية النمو. على وجه الخصوص، يوفر هيكلها المسامي العديد من المزايا التقنية للعملية نمو الكريستال. 

وفيما يلي تحليل مفصل لكربيد التنتالوم المطلي بالجرافيت المساميالدور الأساسي:

● تحسين كفاءة تدفق الغاز والتحكم بدقة في معلمات العملية

يمكن للهيكل المسامي الصغير للجرافيت المسامي أن يعزز التوزيع الموحد لغازات التفاعل (مثل غاز الكربيد والنيتروجين)، وبالتالي تحسين الجو في منطقة التفاعل. هذه الخاصية يمكن أن تتجنب بشكل فعال تراكم الغاز المحلي أو مشاكل الاضطراب، وتضمن أن بلورات SiC يتم الضغط عليها بالتساوي طوال عملية النمو، ويتم تقليل معدل الخلل إلى حد كبير. وفي الوقت نفسه، يسمح الهيكل المسامي أيضًا بالتعديل الدقيق لتدرجات ضغط الغاز، مما يزيد من تحسين معدلات نمو البلورات وتحسين تناسق المنتج.

●  تقليل تراكم الإجهاد الحراري وتحسين سلامة الكريستال

في العمليات ذات درجات الحرارة المرتفعة، تعمل الخصائص المرنة لكربيد التنتالوم المسامي (TaC) على تخفيف تركيزات الإجهاد الحراري الناتجة عن اختلافات درجات الحرارة بشكل كبير. هذه القدرة مهمة بشكل خاص عند زراعة بلورات SiC، مما يقلل من خطر تكوين الشقوق الحرارية، وبالتالي تحسين سلامة البنية البلورية واستقرار المعالجة.

●  تحسين توزيع الحرارة وتحسين كفاءة استخدام الطاقة

لا يمنح طلاء كربيد التنتالوم موصلية حرارية أعلى للجرافيت المسامي فحسب، بل يمكن لخصائصه المسامية أيضًا توزيع الحرارة بالتساوي، مما يضمن توزيعًا ثابتًا للغاية لدرجة الحرارة داخل منطقة التفاعل. تعتبر هذه الإدارة الحرارية الموحدة الشرط الأساسي لإنتاج كريستال SiC عالي النقاء. يمكنها أيضًا تحسين كفاءة التسخين بشكل كبير، وتقليل استهلاك الطاقة، وجعل عملية الإنتاج أكثر اقتصادية وكفاءة.

●  تعزيز مقاومة التآكل وإطالة عمر المكونات

يمكن أن تسبب الغازات والمنتجات الثانوية في البيئات ذات درجات الحرارة العالية (مثل مرحلة بخار الهيدروجين أو كربيد السيليكون) تآكلًا شديدًا للمواد. يوفر طلاء TaC حاجزًا كيميائيًا ممتازًا للجرافيت المسامي، مما يقلل بشكل كبير من معدل تآكل المكون، وبالتالي يطيل عمر الخدمة. بالإضافة إلى ذلك، يضمن الطلاء استقرار الهيكل المسامي على المدى الطويل، مما يضمن عدم تأثر خصائص نقل الغاز.

●  يمنع بشكل فعال انتشار الشوائب ويضمن نقاء الكريستال

قد تطلق مصفوفة الجرافيت غير المطلية كميات ضئيلة من الشوائب، ويعمل طلاء TaC كحاجز عزل لمنع هذه الشوائب من الانتشار إلى بلورة SiC في بيئة ذات درجة حرارة عالية. يعد تأثير التدريع هذا أمرًا بالغ الأهمية لتحسين نقاء الكريستال والمساعدة في تلبية المتطلبات الصارمة لصناعة أشباه الموصلات لمواد SiC عالية الجودة.

يعمل الجرافيت المسامي المطلي بكربيد التنتالوم لأشباه الموصلات من VeTek على تحسين كفاءة العملية وجودة الكريستال بشكل كبير من خلال تحسين تدفق الغاز، وتقليل الإجهاد الحراري، وتحسين التوحيد الحراري، وتعزيز مقاومة التآكل، ومنع انتشار الشوائب أثناء عملية نمو كريستال SiC. إن تطبيق هذه المادة لا يضمن الدقة والنقاء العاليين في الإنتاج فحسب، بل يقلل أيضًا من تكاليف التشغيل بشكل كبير، مما يجعلها ركيزة مهمة في تصنيع أشباه الموصلات الحديثة.

والأهم من ذلك، أن شركة VeTeksemi ملتزمة منذ فترة طويلة بتوفير التكنولوجيا المتقدمة وحلول المنتجات لصناعة أشباه الموصلات، وتدعم خدمات منتجات الجرافيت المسامية المطلية بكربيد التنتالوم المخصصة. ونحن نتطلع بصدق إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

الخصائص الفيزيائية لطلاء كربيد التنتالوم

محلات إنتاج الجرافيت المسامية المطلية بكربيد التنتالوم لأشباه الموصلات VeTek