ما هو طلاء TaC؟

طلاء TaC (طلاء كربيد التنتالوم) هو مادة طلاء عالية الأداء يتم إنتاجها عن طريق عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD). نظرًا للخصائص الممتازة لطلاء TaC في الظروف القاسية، فإنه يستخدم على نطاق واسع في عملية تصنيع أشباه الموصلات، خاصة في المعدات والمكونات التي تتطلب درجة حرارة عالية وبيئة تآكل قوية. عادةً ما يتم استخدام طلاء TaC لحماية الركائز (مثل الجرافيت أو السيراميك) من التلف الناتج عن درجات الحرارة المرتفعة والغازات المسببة للتآكل والتآكل الميكانيكي.

ميزات المنتج ومزاياه

استقرار حراري عالي للغاية:

وصف الميزة: طلاء TaC لديه نقطة انصهار تزيد عن 3880 درجة مئوية ويمكنه الحفاظ على الاستقرار دون تحلل أو تشوه في بيئة درجة حرارة عالية للغاية.

الميزة: هذا يجعلها مادة لا غنى عنها في معدات أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية مثل CVD TaC Coating وTaC Coated Susceptor، خاصة للتطبيقات في مفاعلات MOCVD، مثل معدات Aixtron G5.

مقاومة ممتازة للتآكل:

وصف الميزة: يتمتع TaC بخمول كيميائي قوي للغاية ويمكنه مقاومة تآكل الغازات المسببة للتآكل مثل الكلوريدات والفلوريدات بشكل فعال.

المزايا: في عمليات أشباه الموصلات التي تتضمن مواد كيميائية شديدة التآكل، يحمي طلاء TaC مكونات المعدات من الهجوم الكيميائي، ويطيل عمر الخدمة ويحسن استقرار العملية، خاصة في تطبيق قارب رقاقة كربيد السيليكون والمكونات الرئيسية الأخرى.

صلابة ميكانيكية ممتازة:

وصف الميزة: تصل صلابة طلاء TaC إلى 9-10 Mohs، مما يجعله مقاومًا للتآكل الميكانيكي والإجهاد الناتج عن درجات الحرارة العالية.

الميزة: خاصية الصلابة العالية تجعل طلاء TaC مناسبًا بشكل خاص للاستخدام في البيئات شديدة التآكل والضغط العالي، مما يضمن استقرار وموثوقية المعدات على المدى الطويل في ظل الظروف القاسية.

تفاعل كيميائي منخفض:

وصف الميزة: بسبب خموله الكيميائي، يمكن لطلاء TaC الحفاظ على تفاعل منخفض في البيئات ذات درجات الحرارة المرتفعة وتجنب التفاعلات الكيميائية غير الضرورية مع الغازات التفاعلية.

الميزة: هذا مهم بشكل خاص في عملية تصنيع أشباه الموصلات لأنه يضمن نقاء بيئة العملية وترسيب المواد عالي الجودة.

دور طلاء TaC في معالجة أشباه الموصلات

حماية مكونات المعدات الرئيسية:

وصف الوظيفة: يتم استخدام طلاء TaC على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات، مثل TaC Coated Susceptor، والتي تحتاج إلى العمل في ظل الظروف القاسية. من خلال الطلاء بمادة TaC، يمكن لهذه المكونات أن تعمل لفترات طويلة من الوقت في درجات الحرارة العالية وبيئات الغاز المسببة للتآكل دون التعرض للتلف.

إطالة عمر المعدات:

وصف الوظيفة: في معدات MOCVD مثل Aixtron G5، يمكن لطلاء TaC تحسين متانة مكونات المعدات بشكل كبير وتقليل الحاجة إلى صيانة المعدات واستبدالها بسبب التآكل والتآكل.

تعزيز استقرار العملية:

وصف الوظيفة: في تصنيع أشباه الموصلات، يضمن طلاء TaC توحيد واتساق عملية الترسيب من خلال توفير درجة حرارة عالية مستقرة وبيئة كيميائية. وهذا مهم بشكل خاص في عمليات النمو الفوقي مثل تنضيد السيليكون ونيتريد الغاليوم (GaN).

تحسين كفاءة العملية:

وصف الوظيفة: من خلال تحسين الطلاء على سطح المعدات، يمكن لـ TaC Coating تحسين الكفاءة الإجمالية للعملية، وتقليل معدل الخلل، وزيادة إنتاجية المنتج. وهذا أمر بالغ الأهمية لتصنيع مواد أشباه الموصلات عالية الدقة وعالية النقاء.

إن الثبات الحراري العالي والمقاومة الممتازة للتآكل والصلابة الميكانيكية والتفاعل الكيميائي المنخفض الذي تظهره طلاء TaC أثناء معالجة أشباه الموصلات يجعلها خيارًا مثاليًا لحماية مكونات معدات تصنيع أشباه الموصلات. مع استمرار تزايد الطلب في صناعة أشباه الموصلات على درجات الحرارة العالية والنقاء العالي وعمليات التصنيع الفعالة، تتمتع TaC Coating بآفاق تطبيق واسعة، خاصة في المعدات والعمليات التي تتضمن CVD TaC Coating وTaC Coated Susceptor وAixtron G5.

VeTek Semiconductor Technology Co., LTD هي شركة رائدة في مجال توفير مواد الطلاء المتقدمة لصناعة أشباه الموصلات. تركز شركتنا على تطوير الحلول المتطورة لهذه الصناعة.

تشمل عروض منتجاتنا الرئيسية طلاءات كربيد السيليكون CVD (SiC)، وطلاءات كربيد التنتالوم (TaC)، ومساحيق SiC السائبة، ومواد SiC عالية النقاء، ومستقبل الجرافيت المطلي بـ SiC، وحلقات التسخين المسبق، وحلقة التحويل المطلية بـ TaC، وأجزاء نصف القمر، إلخ. ، النقاء أقل من 5 جزء في المليون، يمكن أن تلبي متطلبات العملاء.

تركز شركة VeTek لأشباه الموصلات على تطوير التكنولوجيا المتطورة وحلول تطوير المنتجات لصناعة أشباه الموصلات.نأمل مخلصين أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.