لوحة دعم قاعدة طلاء TaC

VeTek Semiconductor هي الشركة المصنعة والموردة في الصين والتي تنتج بشكل أساسي مستقبلات طلاء CVD TaC، وحلقة المدخل، وWafer Chunck، وحامل مطلي TaC، ولوحة دعم قاعدة طلاء TaC مع سنوات عديدة من الخبرة. نأمل في بناء علاقة تجارية معك.

تتمتع سيراميك TaC بنقطة انصهار تصل إلى 3880 درجة مئوية، وصلابة عالية (صلابة موس 9 ~ 10)، وموصلية حرارية كبيرة (22W·m-1·K−1)، وقوة انحناء كبيرة (340 ~ 400MPa)، وتمدد حراري صغير معامل (6.6×10−6K−1)، ويظهر ثباتًا كيميائيًا حراريًا ممتازًا وخصائص فيزيائية ممتازة. إنه يتمتع بتوافق كيميائي وميكانيكي جيد مع المواد المركبة من الجرافيت وC/C، لذلك يستخدم طلاء TaC على نطاق واسع في الحماية الحرارية الفضائية، ونمو البلورة الفردية والمفاعلات الفوقي مثل مفاعل Aixtron، LPE EPI في صناعة أشباه الموصلات. يتمتع الجرافيت المطلي بـ TaC بمقاومة أفضل للتآكل الكيميائي من الحبر الحجري العاري أو الجرافيت المطلي بـ SiC، ويمكن استخدامه بثبات عند درجة حرارة عالية تبلغ 2200 درجة، ولا يتفاعل مع العديد من العناصر المعدنية، وهو الجيل الثالث من نمو بلورات مفردة لأشباه الموصلات، ومشهد النقش والنقش على الرقاقة من أفضل طلاء الأداء، يمكن أن تحسن بشكل كبير عملية التحكم في درجة الحرارة والشوائب، وإعداد رقائق كربيد السيليكون عالية الجودة والرقائق الفوقي ذات الصلة. إنها مناسبة بشكل خاص لزراعة بلورة GaN أو AlN المفردة في معدات MOCVD وبلورة SiC المفردة في معدات PVT، ومن الواضح أن جودة البلورة المفردة المزروعة قد تحسنت.

طلاء TaC وطلاء SiC قطع الغيار التي يمكننا القيام بها:

معلمة طلاء TaC:

السلسلة الصناعية:

متجر الإنتاج