كم تعرف عن CVD SiC؟

الأمراض القلبية الوعائية كربيد(كربيد السيليكون لترسيب البخار الكيميائي) عبارة عن مادة كربيد السيليكون عالية النقاء يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي. يتم استخدامه بشكل رئيسي لمختلف المكونات والطلاءات في معدات معالجة أشباه الموصلات.مادة الأمراض القلبية الوعائية كربيديتمتع بثبات حراري ممتاز، وصلابة عالية، ومعامل تمدد حراري منخفض، ومقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي، مما يجعله مادة مثالية للاستخدام في ظل ظروف المعالجة القاسية.

يتم استخدام مادة CVD SiC على نطاق واسع في المكونات التي تنطوي على درجات حرارة عالية وبيئة شديدة التآكل وضغط ميكانيكي عالي في عملية تصنيع أشباه الموصلات،بما في ذلك المنتجات التالية بشكل رئيسي:

طلاء الأمراض القلبية الوعائية كربيد:

يتم استخدامه كطبقة واقية لمعدات معالجة أشباه الموصلات لمنع تلف الركيزة بسبب ارتفاع درجة الحرارة والتآكل الكيميائي والتآكل الميكانيكي.

قارب رقاقة SiC:

يتم استخدامه لحمل ونقل الرقائق في العمليات ذات درجة الحرارة العالية (مثل الانتشار والنمو الفوقي) لضمان استقرار الرقائق وتوحيد العمليات.

أنبوب عملية كربيد السيليكون:

تُستخدم أنابيب معالجة SiC بشكل أساسي في أفران الانتشار وأفران الأكسدة لتوفير بيئة تفاعل خاضعة للتحكم لرقائق السيليكون، مما يضمن ترسيبًا دقيقًا للمواد وتوزيع المنشطات الموحد.

مجداف ناتئ SiC:

يتم استخدام مجداف SiC Cantilever Paddle بشكل أساسي لحمل أو دعم رقائق السيليكون في أفران الانتشار وأفران الأكسدة، مما يلعب دورًا محملاً. خاصة في العمليات ذات درجات الحرارة العالية مثل الانتشار، والأكسدة، والتليين، وما إلى ذلك، فهو يضمن الاستقرار والمعالجة الموحدة لرقائق السيليكون في البيئات القاسية.

رأس دش الأمراض القلبية الوعائية كربيد:

يتم استخدامه كعنصر توزيع الغاز في معدات الحفر بالبلازما، مع مقاومة ممتازة للتآكل والاستقرار الحراري لضمان التوزيع الموحد للغاز وتأثير الحفر.

السقف المطلي بـ SiC:

المكونات الموجودة في غرفة تفاعل المعدات، تستخدم لحماية المعدات من التلف الناتج عن درجات الحرارة المرتفعة والغازات المسببة للتآكل، وإطالة عمر خدمة المعدات.

مستقبلات السيليكون:

تستخدم حاملات الرقاقات في عمليات النمو الفوقي للسيليكون لضمان جودة تسخين وترسيب موحدة للرقائق.

يحتوي كربيد السيليكون المترسب بالبخار الكيميائي (CVD SiC) على مجموعة واسعة من التطبيقات في معالجة أشباه الموصلات، ويستخدم بشكل أساسي لتصنيع الأجهزة والمكونات المقاومة لدرجات الحرارة المرتفعة والتآكل والصلابة العالية.وينعكس دورها الأساسي في الجوانب التالية:

الطلاءات الواقية في البيئات ذات درجات الحرارة العالية:

الوظيفة: غالبًا ما يتم استخدام CVD SiC للطلاء السطحي للمكونات الرئيسية في معدات أشباه الموصلات (مثل المستقبلات، وبطانات غرفة التفاعل، وما إلى ذلك). تحتاج هذه المكونات إلى العمل في بيئات ذات درجة حرارة عالية، ويمكن أن توفر طلاءات CVD SiC ثباتًا حراريًا ممتازًا لحماية الركيزة من التلف الناتج عن درجات الحرارة المرتفعة.

المزايا: تضمن نقطة الانصهار العالية والتوصيل الحراري الممتاز لـ CVD SiC أن المكونات يمكن أن تعمل بثبات لفترة طويلة في ظل ظروف درجات الحرارة المرتفعة، مما يطيل عمر خدمة المعدات.

تطبيقات مكافحة التآكل:

الوظيفة: في عملية تصنيع أشباه الموصلات، يمكن لطلاء CVD SiC أن يقاوم بشكل فعال تآكل الغازات والمواد الكيميائية المسببة للتآكل ويحمي سلامة المعدات والأجهزة. وهذا مهم بشكل خاص للتعامل مع الغازات شديدة التآكل مثل الفلوريدات والكلوريدات.

المزايا: من خلال ترسيب طلاء CVD SiC على سطح المكون، يمكن تقليل تلف المعدات وتكاليف الصيانة الناتجة عن التآكل بشكل كبير، ويمكن تحسين كفاءة الإنتاج.

تطبيقات عالية القوة ومقاومة للاهتراء:

الوظيفة: مادة CVD SiC معروفة بصلابتها العالية وقوتها الميكانيكية العالية. يتم استخدامه على نطاق واسع في مكونات أشباه الموصلات التي تتطلب مقاومة التآكل والدقة العالية، مثل الأختام الميكانيكية، والمكونات الحاملة، وما إلى ذلك. تتعرض هذه المكونات لضغط ميكانيكي قوي واحتكاك أثناء التشغيل. يمكن لـ CVD SiC مقاومة هذه الضغوط بشكل فعال وضمان العمر الطويل والأداء المستقر للجهاز.

المزايا: لا تستطيع المكونات المصنوعة من CVD SiC تحمل الضغط الميكانيكي في البيئات القاسية فحسب، بل يمكنها أيضًا الحفاظ على ثبات الأبعاد وتشطيب السطح بعد الاستخدام طويل الأمد.

وفي الوقت نفسه، يلعب CVD SiC دورًا حيويًا فيLED النمو الفوقيوأشباه الموصلات الطاقة وغيرها من المجالات. في عملية تصنيع أشباه الموصلات، عادة ما يتم استخدام ركائز CVD SiC كمستقبلات برنامج التحصين الموسع (EPI).. إن التوصيل الحراري الممتاز والاستقرار الكيميائي يجعل الطبقات الفوقية المزروعة تتمتع بجودة أعلى واتساق. بالإضافة إلى ذلك، يتم استخدام CVD SiC أيضًا على نطاق واسع فيناقلات النقش PSS, ناقلات رقائق RTP, ناقلات النقش ICPوما إلى ذلك، مما يوفر دعمًا مستقرًا وموثوقًا أثناء حفر أشباه الموصلات لضمان أداء الجهاز.

VeTek Semiconductor Technology Co., LTD هي شركة رائدة في مجال توفير مواد الطلاء المتقدمة لصناعة أشباه الموصلات. تركز شركتنا على تطوير الحلول المتطورة لهذه الصناعة.

تشمل عروض منتجاتنا الرئيسية طلاءات كربيد السيليكون CVD (SiC)، وطلاءات كربيد التنتالوم (TaC)، ومساحيق SiC السائبة، ومواد SiC عالية النقاء، ومستقبل الجرافيت المطلي بـ SiC، والتسخين المسبق، وحلقة تحويل مطلية بـ TaC، ونصف القمر، وأجزاء القطع وما إلى ذلك. ، النقاء أقل من 5 جزء في المليون، حلقات القطع يمكن أن تلبي متطلبات العملاء.

تركز شركة VeTek لأشباه الموصلات على تطوير التكنولوجيا المتطورة وحلول تطوير المنتجات لصناعة أشباه الموصلات.نأمل مخلصين أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.