في نمو البلورات المفردة SiC وAlN باستخدام طريقة نقل البخار الفيزيائي (PVT)، تلعب المكونات الحاسمة مثل البوتقة وحامل البذور وحلقة التوجيه دورًا حيويًا. كما هو موضح في الشكل 2 [1]، أثناء عملية PVT، يتم وضع بلورة البذور في منطقة درجة الحرارة المنخفضة، بينما تتعرض المادة الخام SiC لدرجات حرارة أعلى (أعل......
اقرأ أكثرتحتوي ركائز كربيد السيليكون على العديد من العيوب ولا يمكن معالجتها مباشرة. يجب أن يتم زراعة طبقة رقيقة من الكريستال المفرد عليها من خلال عملية الفوقي لصنع رقائق الرقائق. هذا الفيلم الرقيق هو الطبقة الفوقي. يتم تصنيع جميع أجهزة كربيد السيليكون تقريبًا على مواد الفوقي. تعد المواد الفوقي المتجانسة من ك......
اقرأ أكثر