عاكس بوتقة مطلي بالجرافيت SiC

تتمتع شركة VeTek Semiconductor بسنوات عديدة من الخبرة في إنتاج عاكسات بوتقة الجرافيت المطلية بـ SiC عالية الجودة. لدينا مختبر خاص لأبحاث المواد وتطويرها، ويمكننا دعم تصميماتك المخصصة بجودة فائقة. نحن نرحب بكم لزيارة مصنعنا لمزيد من المناقشة.

إرسال استفسار

وصف المنتج

VeTek Semiconducotr عبارة عن شركة صينية متخصصة في تصنيع وتوريد عاكسات البوتقة المطلية بالجرافيت SiC. يعد عاكس البوتقة المطلي بالجرافيت SiC مكونًا حاسمًا في معدات الفرن أحادي البلورة، وهو مكلف بتوجيه المادة المنصهرة بسلاسة من البوتقة إلى منطقة نمو البلورة، مما يضمن جودة وشكل نمو أحادي البلورة.

وظائف عاكس البوتقة المطلي بالجرافيت SiC هي:

التحكم في التدفق: إنه يوجه تدفق السيليكون المنصهر أثناء عملية Czochralski، مما يضمن التوزيع الموحد والحركة الخاضعة للتحكم للسيليكون المنصهر لتعزيز نمو البلورات.

تنظيم درجة الحرارة: يساعد على تنظيم توزيع درجة الحرارة داخل السيليكون المصهور، مما يضمن الظروف المثالية لنمو البلورات وتقليل التدرجات الحرارية التي يمكن أن تؤثر على جودة السيليكون أحادي البلورية.

منع التلوث: من خلال التحكم في تدفق السيليكون المنصهر، فإنه يساعد على منع التلوث من البوتقة أو المصادر الأخرى، مما يحافظ على درجة النقاء العالية المطلوبة لتطبيقات أشباه الموصلات.

الاستقرار: يساهم العاكس في استقرار عملية نمو البلورات عن طريق تقليل الاضطراب وتعزيز التدفق المستمر للسيليكون المنصهر، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق خصائص بلوري موحدة.

تسهيل نمو البلورات: من خلال توجيه السيليكون المنصهر بطريقة يمكن التحكم فيها، يسهل العاكس نمو بلورة واحدة من السيليكون المنصهر، وهو أمر ضروري لإنتاج رقائق السيليكون أحادية البلورة عالية الجودة المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات.

معلمة المنتج لحارف بوتقة الجرافيت المطلي بـ SiC

الخصائص الفيزيائية للجرافيت متساوي الضغط
ملكية	وحدة	القيمة النموذجية
الكثافة الظاهرية	جم/سم3	1.83
صلابة	HSD	58
المقاومة الكهربائية	مΩ. م	10
قوة العاطفة	MPa	47
قوة الضغط	MPa	103
قوة الشد	MPa	31
معامل يونج	المعدل التراكمي	11.8
التمدد الحراري (CTE)	10-6 ك-1	4.6
توصيل حراري	دبليو·م-1·ك-1	130
متوسط حجم الحبوب	ميكرومتر	8-10
المسامية	%	10
نسبة الرماد	جزء في المليون	≥10 (بعد تنقيته)

ملحوظة: قبل الطلاء، سنقوم بالتنقية الأولى، وبعد الطلاء، سنقوم بالتنقية الثانية.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC
ملكية	القيمة النموذجية
الهيكل البلوري	FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111).
كثافة	3.21 جم/سم3
صلابة	2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
حجم الحبوب	2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي	99.99995%
السعة الحرارية	640 جول·كجم-1·ك-1
درجة حرارة التسامي	2700 درجة مئوية
قوة العاطفة	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونج	430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
توصيل حراري	300 واط·م-1·ك-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5×10-6K-1