فطيرة فطيرة مغلفة بـ SiC لرقائق LPE PE3061S مقاس 6 بوصة

VeTek Semiconductor هي إحدى الشركات الرائدة في تصنيع ومبتكرة رقائق الفطيرة المطلية بـ SiC لرقائق LPE PE3061S مقاس 6 بوصة في الصين. لقد تخصصنا في مواد طلاء SiC لسنوات عديدة. نحن نقدم قابلًا للفطائر المطلية بـ SiC المصمم خصيصًا لرقائق LPE PE3061S مقاس 6 بوصة . يتميز هذا المستقبِل الفوقي بمقاومة عالية للتآكل، وأداء جيد للتوصيل الحراري، وتوحيد جيد. نرحب بكم لزيارة مصنعنا في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

باعتبارها الشركة المصنعة المهنية، تود شركة VeTek Semiconductor أن توفر لك جودة عالية من رقائق الفطيرة المطلية بـ SiC لرقائق LPE PE3061S مقاس 6 بوصات.

يعد VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor لرقائق LPE PE3061S مقاس 6 بوصات من المعدات المهمة المستخدمة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات.

Susceptor فطيرة المغلفة SiC لرقائق LPE PE3061S 6 "ميزات المنتج:

الاستقرار في درجات الحرارة العالية: يُظهر SiC استقرارًا ممتازًا في درجات الحرارة العالية، ويحافظ على هيكله وأدائه في البيئات ذات درجات الحرارة العالية.

موصلية حرارية متميزة: يتمتع SiC بموصلية حرارية استثنائية، مما يتيح نقل الحرارة بسرعة وموحد من أجل تسخين سريع ومتساوي.

مقاومة التآكل: يتمتع SiC بثبات كيميائي ممتاز، ويقاوم التآكل والأكسدة في بيئات التسخين المختلفة.

توزيع موحد للتدفئة: يوفر حامل الرقاقة المطلي بـ SiC توزيعًا موحدًا للتدفئة، مما يضمن درجة حرارة متساوية عبر سطح الرقاقة أثناء التسخين.

مناسبة لإنتاج أشباه الموصلات: يتم استخدام حاملة الويفر Si epitaxy على نطاق واسع في عمليات تصنيع أشباه الموصلات، خاصة بالنسبة لنمو Si epitaxy وغيرها من عمليات التسخين ذات درجة الحرارة العالية.

مزايا المنتج:

تحسين كفاءة الإنتاج: يتيح جهاز استقبال الفطائر المطلي بطبقة SiC تسخينًا سريعًا وموحدًا، مما يقلل وقت التسخين ويعزز كفاءة الإنتاج.

ضمان جودة المنتج: يضمن توزيع التسخين الموحد الاتساق أثناء معالجة الرقائق، مما يؤدي إلى تحسين جودة المنتج.

عمر ممتد للمعدات: توفر مادة SiC مقاومة ممتازة للحرارة وثباتًا كيميائيًا، مما يساهم في إطالة عمر متقبل الفطائر.

حلول مخصصة: يمكن تصميم حامل الويفر Si epitaxy المطلي بطبقة SiC ليتناسب مع أحجام ومواصفات مختلفة بناءً على متطلبات العملاء.

SEM data and structure of CVD SIC films

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC:

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC
ملكية	القيمة النموذجية
الهيكل البلوري	FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111).
كثافة	3.21 جم/سم3
صلابة	2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
حجم الحبوب	2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي	99.99995%
القدرة الحرارية	640 جول·كجم-1·ك-1
درجة حرارة التسامي	2700 درجة مئوية
قوة العاطفة	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونغ	430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
الموصلية الحرارية	300 واط·م-1·ك-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5×10-6K-1

ورشة VeTek لإنتاج أشباه الموصلات

VeTek Semiconductor Production Shop

نظرة عامة على سلسلة صناعة رقائق أشباه الموصلات:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

الكلمات الساخنة: Susceptor فطيرة مغلفة بـ SiC لرقائق LPE PE3061S مقاس 6 بوصات، الصين، الشركة المصنعة، المورد، المصنع، حسب الطلب، شراء، متقدم، متين، صنع في الصين

علامة المنتج

الفئة ذات الصلة