VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع ومبتكر اللوحة العلوية المطلية بـ SiC لـ LPE PE2061S في الصين. لقد تخصصنا في مواد طلاء SiC لسنوات عديدة. نحن نقدم اللوحة العلوية المطلية بـ SiC لـ LPE PE2061S المصممة خصيصًا لمفاعل LPE السيليكوني. هذه اللوحة العلوية المطلية بـ SiC لـ LPE PE2061S هي الجزء العلوي مع مستقبِل البرميل. تتميز اللوحة المطلية بـ CVD SiC بنقاء عالٍ وثبات حراري ممتاز وتوحيد، مما يجعلها مناسبة لزراعة طبقات الفوقي عالية الجودة. نرحب بكم لزيارة مصنعنا في الصين.
VeTek Semiconductor هي شركة صينية متخصصة في تصنيع وتوريد اللوح العلوي المطلي بـ SiC لـ LPE PE2061S.
اللوحة العلوية المطلية بشبه موصل SiC من VeTeK لـ LPE PE2061S في معدات الفوقي السيليكون، المستخدمة جنبًا إلى جنب مع مستقبل الجسم من النوع البرميلي لدعم وإمساك الرقاقات الفوقي (أو الركائز) أثناء عملية النمو الفوقي.
عادةً ما تكون اللوحة العلوية المطلية بـ SiC لـ LPE PE2061S مصنوعة من مادة الجرافيت المستقرة ذات درجة الحرارة العالية. تأخذ شركة VeTek Semiconductor في الاعتبار عوامل مثل معامل التمدد الحراري بعناية عند اختيار مادة الجرافيت الأكثر ملاءمة، مما يضمن ارتباطًا قويًا بطبقة كربيد السيليكون.
تُظهر اللوحة العلوية المطلية بـ SiC لـ LPE PE2061S ثباتًا حراريًا ممتازًا ومقاومة كيميائية لتحمل درجات الحرارة العالية والبيئة المسببة للتآكل أثناء النمو الفوقي. وهذا يضمن الاستقرار والموثوقية والحماية على المدى الطويل للرقائق.
في المعدات الفوقي المصنوعة من السيليكون، تتمثل الوظيفة الأساسية للمفاعل المطلي بـ CVD SiC بالكامل في دعم الرقاقات وتوفير سطح ركيزة موحد لنمو الطبقات الفوقي. بالإضافة إلى ذلك، فهو يسمح بإجراء تعديلات في موضع واتجاه الرقائق، مما يسهل التحكم في درجة الحرارة وديناميكيات السوائل أثناء عملية النمو لتحقيق ظروف النمو المرغوبة وخصائص الطبقة الفوقية.
توفر منتجات VeTek Semiconductor دقة عالية وسمك طلاء موحد. يؤدي دمج الطبقة العازلة أيضًا إلى إطالة عمر المنتج. في معدات السيليكون الفوقي، المستخدمة جنبًا إلى جنب مع مستقبل الجسم من النوع البرميلي لدعم وإمساك الرقائق الفوقي (أو الركائز) أثناء عملية النمو الفوقي.
الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC | |
ملكية | القيمة النموذجية |
الهيكل البلوري | FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111). |
كثافة | 3.21 جم/سم3 |
صلابة | 2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام) |
حجم الحبوب | 2 ~ 10 ميكرومتر |
النقاء الكيميائي | 99.99995% |
القدرة الحرارية | 640 جول·كجم-1·ك-1 |
درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
قوة العاطفة | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
معامل يونغ | 430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية |
الموصلية الحرارية | 300 واط·م-1·ك-1 |
التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |