مادة الجرافيت المطلية بـ TaC

يستخدم معالج الجرافيت المطلي بـ TaC من VeTek Semiconductor طريقة ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لتحضير طلاء كربيد التنتالوم على سطح أجزاء الجرافيت. هذه العملية هي الأكثر نضجًا ولها أفضل خصائص الطلاء. يمكن لمستقبل الجرافيت المطلي بـ TaC إطالة عمر خدمة مكونات الجرافيت، ويمنع هجرة شوائب الجرافيت، ويضمن جودة النفوق. تتطلع VeTek Semiconductor إلى استفسارك.

إرسال استفسار

وصف المنتج

مرحبًا بك للحضور إلى مصنعنا VeTek Semiconductor لشراء أحدث المنتجات مبيعًا والسعر المنخفض والجودة العالية من TaC Coated Graphite Susceptor. نحن نتطلع للتعاون معك.

نقطة انصهار مادة كربيد التنتالوم تصل إلى 3880 درجة مئوية، وهي نقطة انصهار عالية واستقرار كيميائي جيد للمركب، ولا تزال بيئة درجة الحرارة المرتفعة تحافظ على أداء مستقر، بالإضافة إلى أنها تتمتع أيضًا بمقاومة درجات الحرارة العالية، ومقاومة التآكل الكيميائي، والمواد الكيميائية الجيدة. والتوافق الميكانيكي مع المواد الكربونية وغيرها من الخصائص، مما يجعلها مادة طلاء واقية مثالية لركيزة الجرافيت. يمكن لطلاء كربيد التنتالوم أن يحمي بشكل فعال مكونات الجرافيت من تأثير الأمونيا الساخنة وبخار الهيدروجين والسيليكون والمعادن المنصهرة في بيئة الاستخدام القاسية، ويطيل عمر خدمة مكونات الجرافيت بشكل كبير، ويمنع هجرة الشوائب في الجرافيت، ضمان جودة النمو الفوقي والبلوري. يستخدم بشكل رئيسي في عملية السيراميك الرطب.

يعد ترسيب البخار الكيميائي (CVD) طريقة التحضير الأكثر نضجًا والأمثل لطلاء كربيد التنتالوم على سطح الجرافيت.

طريقة طلاء CVD TaC لمستقبل الجرافيت المطلي بـ TaC:

تستخدم عملية الطلاء TaCl5 والبروبيلين كمصدر للكربون ومصدر للتنتالوم على التوالي، والأرجون كغاز حامل لإحضار بخار خماسي كلوريد التنتالوم إلى غرفة التفاعل بعد التغويز بدرجة حرارة عالية. تحت درجة الحرارة والضغط المستهدفين، يتم امتصاص بخار المادة الأولية على سطح جزء الجرافيت، وتحدث سلسلة من التفاعلات الكيميائية المعقدة مثل التحلل والجمع بين مصدر الكربون ومصدر التنتالوم. وفي الوقت نفسه، تتضمن أيضًا سلسلة من التفاعلات السطحية مثل انتشار المادة الأولية وامتزاز المنتجات الثانوية. وأخيرًا، يتم تشكيل طبقة واقية كثيفة على سطح جزء الجرافيت، مما يحمي جزء الجرافيت من الثبات في ظل الظروف البيئية القاسية. تم توسيع سيناريوهات تطبيق مواد الجرافيت بشكل كبير.

معلمة المنتج لمستقبل الجرافيت المطلي بـ TaC:

الخصائص الفيزيائية لطلاء TaC
كثافة	14.3 (جم/سم3)
انبعاثية محددة	0.3
معامل التمدد الحراري	6.3 10-6/ك
صلابة (هونج كونج)	2000 هونج كونج
مقاومة	1 × 10-5 أوم * سم
الاستقرار الحراري	<2500 درجة مئوية
يتغير حجم الجرافيت	-10~-20um
سمك التغليف	≥20um القيمة النموذجية (35um±10um)