ظرف طلاء TaC

يعد ظرف طلاء TaC من VeTek Semiconductor هو الحل الأمثل لتحقيق نتائج استثنائية في عملية SiC EPI. بفضل طلاء TaC، ومقاومته لدرجات الحرارة العالية، والخمول الكيميائي، يمكّنك منتجنا من إنتاج بلورات عالية الجودة بدقة وموثوقية. مرحبًا بك في استفسارنا.

TaC (كربيد التنتالوم) هو مادة شائعة الاستخدام لطلاء سطح الأجزاء الداخلية للمعدات الفوقي. لديها الخصائص التالية:

● مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية: يمكن لطلاءات TaC تحمل درجات حرارة تصل إلى 2200 درجة مئوية، مما يجعلها مثالية للتطبيقات في البيئات ذات درجات الحرارة المرتفعة مثل غرف التفاعل الفوقي.

● صلابة عالية: تصل صلابة TaC إلى حوالي 2000 HK، وهي أصعب بكثير من الفولاذ المقاوم للصدأ أو سبائك الألومنيوم شائعة الاستخدام، والتي يمكن أن تمنع تآكل السطح بشكل فعال.

● استقرار كيميائي قوي: يعمل طلاء TaC بشكل جيد في البيئات المسببة للتآكل كيميائيًا ويمكن أن يطيل عمر خدمة مكونات المعدات الفوقي بشكل كبير.

● الموصلية الكهربائية الجيدة: يتميز طلاء TaC بموصلية كهربائية جيدة، مما يساعد على إطلاق الكهرباء الساكنة والتوصيل الحراري.

تجعل هذه الخصائص طلاء TaC مادة مثالية لتصنيع الأجزاء المهمة مثل البطانات الداخلية، وجدران غرفة التفاعل، وعناصر التسخين للمعدات الفوقي. ومن خلال طلاء هذه المكونات بمادة TaC، يمكن تحسين الأداء العام وعمر الخدمة للمعدات الفوقي.

بالنسبة لطبقة كربيد السيليكون، يمكن أن تلعب قطعة طلاء TaC أيضًا دورًا مهمًا. سطح TaC الطلاء ناعم وكثيف، مما يساعد على تشكيل أفلام كربيد السيليكون عالية الجودة. في الوقت نفسه، يمكن أن تساعد الموصلية الحرارية الممتازة لـ TaC في تحسين توحيد توزيع درجة الحرارة داخل المعدات، وبالتالي تحسين دقة التحكم في درجة الحرارة للعملية الفوقي، وفي النهاية تحقيق نمو طبقة الفوقي من كربيد السيليكون عالي الجودة.