طلاء TaC الكوكبي

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor هو منتج استثنائي لمعدات Aixtron epitaxy. يوفر طلاء TaC القوي مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية والخمول الكيميائي. يضمن هذا المزيج الفريد أداءً موثوقًا وعمر خدمة طويل، حتى في البيئات الصعبة. تلتزم VeTek بتوفير منتجات عالية الجودة والعمل كشريك طويل الأمد في السوق الصينية بأسعار تنافسية.

إرسال استفسار

وصف المنتج

في مجال تصنيع أشباه الموصلات، يلعب جهاز TaC Coating Planetary Susceptor دورًا حاسمًا. يستخدم على نطاق واسع في نمو الطبقات الفوقية من كربيد السيليكون (SiC) في المعدات مثل نظام Aixtron G5. علاوة على ذلك، عند استخدامه كقرص خارجي في ترسيب طلاء كربيد التنتالوم (TaC) لطبقة SiC، يوفر الممتص الكوكبي لطلاء TaC الدعم والثبات الأساسيين. إنه يضمن ترسيبًا موحدًا لطبقة كربيد التنتالوم، مما يساهم في تكوين طبقات فوقية عالية الجودة ذات شكل سطحي ممتاز وسمك الفيلم المطلوب. يمنع الخمول الكيميائي لطلاء TaC التفاعلات غير المرغوب فيها والتلوث، ويحافظ على سلامة الطبقات الفوقية ويضمن جودتها الفائقة.

تتيح التوصيل الحراري الاستثنائي لطلاء TaC نقل الحرارة بكفاءة، وتعزيز التوزيع الموحد لدرجة الحرارة وتقليل الضغط الحراري أثناء عملية النمو الفوقي. وينتج عن ذلك إنتاج طبقات الفوقي SiC عالية الجودة مع خصائص بلورية محسنة وموصلية كهربائية محسنة.

إن الأبعاد الدقيقة والبنية القوية للقرص الكوكبي المطلي TaC تجعل من السهل دمجه في الأنظمة الحالية، مما يضمن التوافق السلس والتشغيل الفعال. يساهم أدائها الموثوق به وطلاء TaC عالي الجودة في الحصول على نتائج متسقة وموحدة في عمليات تنضيد SiC.

ثق في VeTek Semiconductor والقرص الكوكبي المطلي TaC الخاص بنا للحصول على أداء وموثوقية استثنائيين في حالة SiC. استمتع بتجربة مزايا حلولنا المبتكرة، مما يضعك في طليعة التقدم التكنولوجي في صناعة أشباه الموصلات.

طلاء TaC وقطع غيار طلاء SiC التي نقوم بتوريدها:

معلمة المنتج للمستقبل الكوكبي لطلاء TaC:

الخصائص الفيزيائية لطلاء TaC
كثافة	14.3 (جم/سم3)
انبعاثية محددة	0.3
معامل التمدد الحراري	6.3 10-6/ك
صلابة (هونج كونج)	2000 هونج كونج
مقاومة	1 × 10-5 أوم * سم
الاستقرار الحراري	<2500 درجة مئوية
يتغير حجم الجرافيت	-10~-20um
سمك التغليف	≥20um القيمة النموذجية (35um±10um)