دعم طلاء كربيد التنتالوم

الوظيفة الرئيسية لأشباه الموصلات VeTekطلاء كربيد التنتالوم (TaC).الدعم هو تحسينالمقاومة للحرارة، ومقاومة التآكل ومقاومة التآكلمن الركيزة عن طريق طلاء طبقة من طلاء كربيد التنتالوم، وذلك لتحسين دقة وموثوقية العملية وإطالة عمر خدمة المكونات. إنه منتج طلاء عالي الأداء يستخدم في مجال معالجة أشباه الموصلات.

يتمتع طلاء كربيد التنتالوم من VeTek Semiconductor بصلابة موس تبلغ حوالي 9 ~ 10، في المرتبة الثانية بعد الماس. إنها تتمتع بمقاومة تآكل قوية للغاية ويمكنها مقاومة تآكل السطح والتأثير بشكل فعال أثناء المعالجة، وبالتالي إطالة عمر خدمة مكونات المعدات بشكل فعال. إلى جانب نقطة انصهارها العالية التي تبلغ حوالي 3880 درجة مئوية، غالبًا ما يتم استخدامها لطلاء المكونات الرئيسية لمعدات أشباه الموصلات، مثل الطلاءات السطحية لهياكل الدعم أو معدات المعالجة الحرارية أو الغرف أو الحشيات في معدات أشباه الموصلات لتعزيز مقاومة التآكل ودرجة الحرارة العالية. مقاومة.

بسبب درجة انصهار كربيد التنتالوم العالية للغاية والتي تبلغ حوالي 3880 درجة مئوية، في عمليات معالجة أشباه الموصلات مثلترسيب البخار الكيميائي (CVD)وترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، يمكن لطلاء TaC ذو المقاومة القوية لدرجات الحرارة العالية والمقاومة للتآكل الكيميائي أن يحمي مكونات المعدات بشكل فعال ويمنع التآكل أو تلف الركيزة في البيئات القاسية، مما يوفر حماية فعالة لبيئات درجات الحرارة المرتفعة في تصنيع الرقاقات. تحدد هذه الميزة أيضًا أن دعم طلاء كربيد التنتالوم الخاص بـ VeTek Semiconductor غالبًا ما يستخدم في عمليات الحفر والتآكل.

يحتوي دعم طلاء كربيد التنتالوم أيضًا على وظيفة تقليل تلوث الجسيمات. أثناء معالجة الرقاقة، عادة ما ينتج عن تآكل السطح تلوث جسيمي، مما يؤثر على جودة منتج الرقاقة. خصائص المنتج القصوى لـ TaC Coating التي تصل إلى 9-10 موس يمكن أن تقلل بشكل فعال من هذا التآكل، وبالتالي تقليل توليد الجزيئات. بالاشتراك مع التوصيل الحراري الممتاز لـ TaC Coating (حوالي 21 واط/م · كلفن)، يمكنه الحفاظ على توصيل حراري جيد في ظل ظروف درجات الحرارة المرتفعة، وبالتالي تحسين إنتاجية واتساق تصنيع الرقاقات بشكل كبير.

تشمل منتجات طلاء TaC الرئيسية لشركة VeTek Semiconductorسخان طلاء TaC, بوتقة طلاء CVD TaC, TaC طلاء دوران Susceptorوقطع غيار طلاء TaCوما إلى ذلك، ودعم خدمات المنتجات المخصصة. تلتزم شركة VeTek Semiconductor بتوفير منتجات وحلول تقنية ممتازة لصناعة أشباه الموصلات. نأمل مخلصين أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

طلاء كربيد التنتالوم (TaC) على مقطع عرضي مجهري:

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD TaC：