سخان VEECO MOCVD

يتكون سخان VEECO MOCVD من VeTeksemi من مادة الجرافيت عالية النقاء مع محتوى شوائب يتم التحكم فيه بشكل صارم أقل من 5 جزء في المليون، ومغطى بكربيد السيليكون عالي النقاء (SiC) بنقاء يزيد عن 99.99995٪ من خلالعملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD).. يمنح هذا المزيج من المواد السخان سلسلة من الخصائص الرئيسية التي تضمن أداءه الممتاز فيترسيب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD)عملية.

إحدى الميزات البارزة لسخان VEECO MOCVD هي نقائه الكيميائي الاستثنائي. يقلل قلب الجرافيت عالي النقاء بشكل كبير من احتمالية إدخال الملوثات في عملية درجات الحرارة العالية، مما يضمن عملية ترسيب غشاء فائقة النظافة. الطلاء CVD SiCيوفر حماية إضافية للسخان، ويشكل حاجزًا قويًا لمنع التفاعلات الكيميائية التي قد تلحق الضرر بجودة الفيلم. يعد هذا النقاء الذي لا مثيل له ضروريًا لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء والموثوقة.

وفي الوقت نفسه، يتميز السخان باستقرار وكفاءة حرارية عالية للغاية. يتمتع SiC بنقطة انصهار عالية وموصلية حرارية ممتازة، مما يسمح للسخان بإدارة الحرارة وتوصيلها بشكل فعال. وهذا يضمن تسخينًا موحدًا عبر الركيزة، مما يساعد بدوره على تحقيق ترسيب موحد للفيلم وتقليل العيوب الناجمة عن التدرجات الحرارية. تعتبر هذه الكفاءة الحرارية مهمة بشكل خاص للتصنيع الدقيق.

يتفوق سخان VEECO MOCVD أيضًا في الأداء الكهربائي. يتميز قلب الجرافيت عالي النقاء بموصلية كهربائية ممتازة، مما يسمح للسخان بالتعامل مع متطلبات الحمل الكهربائي العالية. يسمح هذا الأداء الكهربائي المستقر للسخان بالحفاظ على التحكم الدقيق في درجة الحرارة ومعدل الترسيب في ظل ظروف الحمل العالية، وهو أمر بالغ الأهمية لضمان ظروف عملية متسقة وتحسين كفاءة تصنيع أشباه الموصلات.

تم تحسين تصميم سطح السخان بعناية ليكون له انبعاثية عالية من الركيزة، مما يحسن بشكل كبير من كفاءة نقل الحرارة الإشعاعي. تعد القدرة على التسخين بالتساوي عاملاً رئيسياً في ضمان سمك وخصائص ترسيب الفيلم المتسقة. كما يعمل تصميم السطح عالي الانبعاث على تحسين الكفاءة الحرارية الإجمالية للسخان، وبالتالي تقليل استهلاك الطاقة وخفض تكاليف التشغيل.

من حيث المتانة، يُظهر سخان VEECO MOCVD من VeTeksemi مقاومة ممتازة للتآكل ومقاومة الأكسدة والقوة الميكانيكية. يوفر طلاء CVD SiC حاجزًا قويًا أمام الغازات المسببة للتآكل والمواد الكيميائية الشائعة في عمليات MOCVD، وبالتالي إطالة عمر المعدات وتقليل احتياجات الصيانة وتكاليف الاستبدال. تضمن مقاومته للأكسدة بقاء السخان مستقرًا عند درجات الحرارة المرتفعة دون تدهور الأداء، مما يضمن استقرارًا طويل الأمد.

بالإضافة إلى ذلك، فإن القوة الميكانيكية العالية لسخان MOCVD من VeTeksemi تمكنه من تحمل الضغوط الفيزيائية الناتجة أثناء التدوير الحراري والتعامل مع الركيزة. تقلل متانتها من مخاطر الأعطال الميكانيكية وتضمن التشغيل الموثوق للمعدات في ظل ظروف المعالجة القاسية.

باعتبارها شركة مصنعة وموردة متقدمة لمنتجات سخان VEECO MOCVD، توفر VeTeksemi أيضًا مجموعة متنوعة من منتجات السخان عالية الجودة مثلسخان طلاء TaC, سخان جرافيت مطلي بالسيراميك من كربيد السيليكون, سخان طلاء السيراميك كربيد السيليكون، إلخ. تلتزم شركة VeTek Semiconductor بتوفير حلول التكنولوجيا والمنتجات المتقدمة والقابلة للتخصيص لصناعة أشباه الموصلات. نأمل مخلصين أن نكون شريكك على المدى الطويل في الصين.