CVD SiC المطلي للبرميل

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة ومبتكرة لـ CVD SiC Coated Barrel Susceptor في الصين. يلعب جهاز امتصاص الأسطوانات المطلي بـ CVD SiC دورًا رئيسيًا في تعزيز النمو الفوقي للمواد شبه الموصلة على الرقاقات بخصائص منتجها الممتازة. مرحبا بكم في مزيد من التشاور الخاص بك.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تم تصميم VeTek لأشباه الموصلات CVD SiC المغلفة للبرميل من أجلالعمليات الفوقيفي تصنيع أشباه الموصلات ويعتبر خيارًا مثاليًا لتحسين جودة المنتج وإنتاجيته. تعتمد قاعدة Susceptor برميل طلاء SiC هذه على هيكل جرافيت صلب ومغطاة بدقة بطبقة SiC بواسطةعملية الأمراض القلبية الوعائية، مما يجعلها تتمتع بموصلية حرارية ممتازة، ومقاومة للتآكل ومقاومة لدرجات الحرارة العالية، ويمكنها التعامل بشكل فعال مع البيئة القاسية أثناء النمو الفوقي.

لماذا تختار VeTek أشباه الموصلات CVD SiC المغلفة للبرميل؟

● تسخين موحد لضمان جودة الطبقة الفوقي: تضمن التوصيل الحراري الممتاز لطلاء SiC توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة على سطح الرقاقة، مما يقلل العيوب بشكل فعال ويحسن إنتاجية المنتج.

● إطالة عمر خدمة القاعدة: الطلاء سيكتتميز بمقاومة ممتازة للتآكل ومقاومة درجات الحرارة العالية، والتي يمكنها إطالة عمر خدمة القاعدة بشكل فعال وتقليل تكاليف الإنتاج.

● تحسين كفاءة الإنتاج: يعمل تصميم البرميل على تحسين عملية تحميل وتفريغ الرقاقة وتحسين كفاءة الإنتاج.

● تنطبق على مجموعة متنوعة من مواد أشباه الموصلات: يمكن استخدام هذه القاعدة على نطاق واسع في النمو الفوقي لمجموعة متنوعة من مواد أشباه الموصلات مثلكربيد كربيدوالجاليوم.

مزايا متقبل البرميل المطلي بـ CVD SiC:

●أداء حراري ممتاز: تضمن الموصلية الحرارية العالية والثبات الحراري دقة التحكم في درجة الحرارة أثناء النمو الفوقي.

●مقاومة التآكل: يمكن لطلاء SiC أن يقاوم التآكل الناتج عن درجات الحرارة العالية والغاز المتآكل بشكل فعال، مما يطيل عمر خدمة القاعدة.

●قوة عالية: توفر قاعدة الجرافيت دعمًا قويًا لضمان استقرار العملية الفوقي.

●خدمة مخصصة: يمكن لأشباه الموصلات VeTek تقديم خدمات مخصصة وفقًا لاحتياجات العملاء لتلبية متطلبات العمليات المختلفة.

بيانات SEM للهيكل البلوري لطبقة طلاء CVD:

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD كربيد كربيد:

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD كربيد كربيد
ملكية	القيمة النموذجية
الهيكل البلوري	FCC β مرحلة متعددة البلورات، موجهة بشكل رئيسي (111).
كثافة طلاء كربيد السيليكون	3.21 جم/سم3
صلابة	2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
حجم الحبوب	2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي	99.99995%
القدرة الحرارية	640 جول·كجم^-1· ك^-1
درجة حرارة التسامي	2700 درجة مئوية
قوة العاطفة	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونغ	430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
الموصلية الحرارية	300 واط · م^-1· ك^-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5×10^-6K^-1