CVD SiC Pancake Susceptor

خصائص فيزيائية متفوقة

فيتيك لأشباه الموصلات يتم تصنيع CVD SiC Pancake Susceptor باستخدام أحدث تقنيات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لضمان متانة ممتازة وقدرة على التكيف مع درجات الحرارة القصوى. فيما يلي خصائصه الفيزيائية الرئيسية:

● الاستقرار الحراري: يضمن الثبات الحراري العالي لـ CVD SiC أداءً مستقرًا في ظل ظروف درجات الحرارة المرتفعة.

● معامل التمدد الحراري المنخفض: تتميز المادة بمعامل تمدد حراري منخفض للغاية، مما يقلل من الاعوجاج والتشوه الناتج عن التغيرات في درجات الحرارة.

● مقاومة التآكل الكيميائي: مقاومة كيميائية ممتازة تمكنها من الحفاظ على الأداء العالي في مجموعة متنوعة من البيئات القاسية.

دعم دقيق ونقل الحرارة الأمثل

تم تصميم طلاء SiC المعتمد على Pancake Susceptor من VeTekSemi لاستيعاب رقائق أشباه الموصلات وتوفير دعم ممتاز أثناء الترسيب الفوقي. تم تصميم SiC Pancake Susceptor باستخدام تقنية المحاكاة الحسابية المتقدمة لتقليل التشويه والتشوه في ظل ظروف درجات الحرارة والضغط المختلفة. يبلغ معامل التمدد الحراري النموذجي حوالي 4.0 × 10^^-6/ درجة مئوية، مما يعني أن ثبات أبعادها أفضل بكثير من المواد التقليدية في البيئات ذات درجات الحرارة العالية، وبالتالي ضمان اتساق سمك الرقاقة (عادة من 200 مم إلى 300 مم).

بالإضافة إلى ذلك، يتفوق CVD Pancake Susceptor في نقل الحرارة، مع توصيل حراري يصل إلى 120 واط/م·ك. يمكن لهذه الموصلية الحرارية العالية توصيل الحرارة بسرعة وفعالية، وتعزيز توحيد درجة الحرارة داخل الفرن، وضمان التوزيع الموحد للحرارة أثناء الترسيب الفوقي، وتقليل عيوب الترسيب الناتجة عن الحرارة غير المتساوية. يعد تحسين أداء نقل الحرارة أمرًا بالغ الأهمية لتحسين جودة الترسيب، مما يمكن أن يقلل بشكل فعال من تقلبات العملية ويحسن الإنتاجية.

من خلال تحسينات التصميم والأداء هذه، يوفر CVD SiC Pancake Susceptor من VeTek Semiconductor أساسًا متينًا لتصنيع أشباه الموصلات، مما يضمن الموثوقية والاتساق في ظل ظروف المعالجة القاسية وتلبية المتطلبات الصارمة لصناعة أشباه الموصلات الحديثة للحصول على دقة وجودة عالية.

هيكل كريستالي لطبقة CVD

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC
ملكية	القيمة النموذجية
الهيكل البلوري	FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111).
كثافة	3.21 جم/سم3
صلابة	2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
حجم الحبوب	2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي	99.99995%
القدرة الحرارية	640 جول·كجم-1· ك-1
درجة حرارة التسامي	2700 درجة مئوية
قوة العاطفة	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونغ	430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
الموصلية الحرارية	300 واط · م-1· ك-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5×10-6K-1