متلقي برنامج التحصين الموسع (EPI).

تم تصميم جهاز EPI Susceptor الخاص بـ VeTek Semiconductor لتطبيقات المعدات الفوقي الصعبة. يوفر هيكل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون عالي النقاء (SiC) مقاومة ممتازة للحرارة، وتوحيدًا حراريًا موحدًا لسمك الطبقة الفوقية المتسقة والمقاومة، ومقاومة كيميائية طويلة الأمد. ونحن نتطلع إلى التعاون معكم.

إرسال استفسار

وصف المنتج

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في مجال استقبال EPI في الصين وجهاز استقبال الكواكب ALD ومصنع جهاز استقبال الجرافيت المطلي TaC. و يعد مُستقبل EPI الخاص بنا عنصرًا مهمًا فيالنمو الفوقيفي عملية تصنيع أشباه الموصلات. وتتمثل وظيفتها الرئيسية في دعم وتسخين الرقاقة بحيث يمكن نمو طبقة فوقية عالية الجودة بشكل موحد على سطح الرقاقة.

عادةً ما تكون مستقبلات EPI الخاصة بشركة VeTek Semiconductors مصنوعة من الجرافيت عالي النقاء ومغطاة بطبقة من كربيد السيليكون (SiC).هذا التصميم له المزايا الرئيسية التالية:

● ثبات درجة الحرارة العالية: يمكن أن يظل مستقبل EPI مستقرًا في بيئة ذات درجة حرارة عالية، مما يضمن النمو الموحد للطبقة الفوقي.

● مقاومة التآكل: يتميز طلاء SiC بمقاومة ممتازة للتآكل ويمكنه مقاومة تآكل الغازات الكيميائية، مما يطيل عمر خدمة الدرج.

● التوصيل الحراري: تضمن الموصلية الحرارية العالية لمادة SiC توزيعًا موحدًا لدرجة حرارة الرقاقة أثناء التسخين، وبالتالي تحسين جودة الطبقة الفوقي.

● مطابقة معامل التمدد الحراري: معامل التمدد الحراري لـ SiC يشبه معامل الجرافيت، مما يتجنب مشكلة تساقط الطلاء بسبب التمدد الحراري والانكماش.