إذا كان استقبال EPI

VeTek Semiconductor هو مصنع يجمع بين التصنيع الدقيق وقدرات طلاء أشباه الموصلات SiC وTaC. يوفر نوع البرميل Si Epi Susceptor إمكانيات التحكم في درجة الحرارة والغلاف الجوي، مما يعزز كفاءة الإنتاج في عمليات النمو الفوقي لأشباه الموصلات. نتطلع إلى إقامة علاقة تعاون معك.

إرسال استفسار

وصف المنتج

فيما يلي مقدمة لـ Si Epi Susceptor عالي الجودة، على أمل مساعدتك على فهم أفضل لـ Barrel Type Si Epi Susceptor. نرحب بالعملاء الجدد والقدامى لمواصلة التعاون معنا لخلق مستقبل أفضل!

المفاعل الفوقي هو جهاز متخصص يستخدم للنمو الفوقي في تصنيع أشباه الموصلات. يوفر Barrel Type Si Epi Susceptor بيئة تتحكم في درجة الحرارة والغلاف الجوي والمعلمات الرئيسية الأخرى لترسيب طبقات بلورية جديدة على سطح الرقاقة.

الميزة الرئيسية لـ Barrel Type Si Epi Susceptor هي قدرته على معالجة شرائح متعددة في وقت واحد، مما يزيد من كفاءة الإنتاج. عادةً ما تحتوي على حوامل أو مشابك متعددة لحمل شرائح متعددة بحيث يمكن زراعة شرائح متعددة في نفس الوقت وفي نفس دورة النمو. تعمل ميزة الإنتاجية العالية هذه على تقليل دورات الإنتاج والتكاليف وتحسين كفاءة الإنتاج.

بالإضافة إلى ذلك، يوفر Barrel Type Si Epi Susceptor التحكم الأمثل في درجة الحرارة والجو. وهي مجهزة بنظام متقدم للتحكم في درجة الحرارة قادر على التحكم الدقيق في درجة حرارة النمو المطلوبة والحفاظ عليها. وفي الوقت نفسه، فإنه يوفر تحكمًا جيدًا في الجو، مما يضمن نمو كل شريحة تحت نفس الظروف الجوية. وهذا يساعد على تحقيق نمو موحد للطبقة الفوقي وتحسين جودة واتساق الطبقة الفوقي.

في Barrel Type Si Epi Susceptor، تحقق الشريحة عادةً توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة ونقل الحرارة من خلال تدفق الهواء أو تدفق السائل. يساعد هذا التوزيع الموحد لدرجة الحرارة على تجنب تكوين النقاط الساخنة والتدرجات الحرارية، وبالتالي تحسين توحيد الطبقة الفوقي.

ميزة أخرى هي أن Barrel Type Si Epi Susceptor يوفر المرونة وقابلية التوسع. يمكن تعديله وتحسينه ليناسب المواد الفوقي المختلفة وأحجام الرقائق ومعايير النمو. يتيح ذلك للباحثين والمهندسين إجراء تطوير سريع للعملية وتحسينها لتلبية احتياجات النمو الفوقي للتطبيقات والمتطلبات المختلفة.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC:

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC
ملكية	القيمة النموذجية
الهيكل البلوري	FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111).
كثافة	3.21 جم/سم3
صلابة	2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
حجم الحبوب	2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي	99.99995%
السعة الحرارية	640 جول·كجم-1·ك-1
درجة حرارة التسامي	2700 درجة مئوية
قوة العاطفة	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونج	430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
توصيل حراري	300 واط·م-1·ك-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5×10-6K-1