حساس البرميل المطلي بـ SiC

تقدم شركة VeTek Semiconductor مجموعة شاملة من حلول المكونات لغرف التفاعل الفوقي السيليكونية LPE، مما يوفر عمرًا طويلًا وجودة مستقرة وإنتاجية محسنة للطبقة الفوقية. تلقى منتجنا مثل SiC Coated Barrel Susceptor تعليقات حول الموقف من العملاء. نحن نقدم أيضًا الدعم الفني لـ Si Epi، وSiC Epi، وMOCVD، وUV-LED Epitaxy، والمزيد. لا تتردد في الاستفسار عن معلومات التسعير.

إرسال استفسار

وصف المنتج

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في الصين في تصنيع وتوريد وتصدير طلاء SiC وطلاء TaC. من خلال التمسك بالسعي لتحقيق الجودة الكاملة للمنتجات، فإن منتجنا من SiC Coated Barrel Susceptor قد نال رضا العديد من العملاء. إن التصميم الفائق والمواد الخام عالية الجودة والأداء العالي والأسعار التنافسية هي ما يريده كل عميل، وهذا أيضًا ما يمكننا أن نقدمه لك. وبطبيعة الحال، من الضروري أيضًا توفير خدمة ما بعد البيع المثالية. إذا كنت مهتمًا بخدماتنا الخاصة بـ SiC Coated Barrel Susceptor، فيمكنك استشارتنا الآن، وسوف نقوم بالرد عليك في الوقت المناسب!

يستخدم VeTek Semiconductor SiC Coated Barrel Susceptor بشكل رئيسي في مفاعلات LPE Si EPI.

LPE (المرحلة السائلة Epitaxy) السيليكون Epitaxy هي تقنية نمو الفوقي لأشباه الموصلات شائعة الاستخدام لترسيب طبقات رقيقة من السيليكون أحادي البلورة على ركائز السيليكون. إنها طريقة نمو في الطور السائل تعتمد على التفاعلات الكيميائية في محلول لتحقيق نمو البلورات.

يتضمن المبدأ الأساسي لتركيب السيليكون LPE غمر الركيزة في محلول يحتوي على المادة المطلوبة، والتحكم في درجة الحرارة وتكوين المحلول، مما يسمح للمادة الموجودة في المحلول بالنمو كطبقة سيليكون أحادية البلورة على سطح الركيزة. من خلال ضبط ظروف النمو وتكوين المحلول أثناء النمو الفوقي، يمكن تحقيق جودة البلورة المطلوبة والسمك وتركيز المنشطات.

تقدم طبقة السيليكون LPE العديد من الخصائص والمزايا. أولاً، يمكن إجراؤه في درجات حرارة منخفضة نسبيًا، مما يقلل من الإجهاد الحراري وانتشار الشوائب في المادة. ثانيًا، توفر طبقة السيليكون LPE تجانسًا عاليًا وجودة بلورية ممتازة، ومناسبة لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء. بالإضافة إلى ذلك، تتيح تقنية LPE نمو الهياكل المعقدة، مثل الهياكل المتعددة الطبقات والمتغايرة.

في تنضيد السيليكون LPE، يعد مُستقبل البرميل المطلي بـ SiC مكونًا فوقيًا حاسمًا. يتم استخدامه عادةً لتثبيت ودعم ركائز السيليكون المطلوبة للنمو الفوقي مع توفير التحكم في درجة الحرارة والغلاف الجوي. يعمل طلاء SiC على تعزيز المتانة في درجات الحرارة العالية والثبات الكيميائي للمستقبل، مما يلبي متطلبات عملية النمو الفوقي. من خلال استخدام جهاز امتصاص البرميل المطلي بـ SiC، يمكن تحسين كفاءة واتساق النمو الفوقي، مما يضمن نمو الطبقات الفوقي عالية الجودة.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC:

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC
ملكية	القيمة النموذجية
الهيكل البلوري	FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111).
كثافة	3.21 جم/سم3
صلابة	2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
حجم الحبوب	2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي	99.99995%
السعة الحرارية	640 جول·كجم-1·ك-1
درجة حرارة التسامي	2700 درجة مئوية
قوة العاطفة	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونج	430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
توصيل حراري	300 واط·م-1·ك-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5×10-6K-1