تعتبر الطبقة الفوقية المصنوعة من السيليكون أحادي البلورية بمثابة ملحق مهم لفرن النمو الفوقي للسيليكون أحادي البلورية، مما يضمن الحد الأدنى من التلوث وبيئة النمو الفوقي المستقرة. تتميز صينية VeTek Semiconductor's SiC ذات الطبقة الفوقية من السيليكون أحادي البلورية بعمر خدمة طويل جدًا وتوفر مجموعة متنوعة من خيارات التخصيص. تتطلع شركة VeTek Semiconductor إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
تم تصميم صينية الفوقي السيليكون أحادية البلورية المطلية بطبقة SiC لأشباه الموصلات من VeTek خصيصًا للنمو الفوقي للسيليكون أحادي البلورية وتلعب دورًا مهمًا في التطبيق الصناعي لطبقة السيليكون أحادية البلورية وأجهزة أشباه الموصلات ذات الصلة.طلاء سيكلا يعمل فقط على تحسين مقاومة درجات الحرارة ومقاومة التآكل للدرج بشكل كبير فحسب، بل يضمن أيضًا الاستقرار على المدى الطويل والأداء الممتاز في البيئات القاسية.
● موصلية حرارية عالية: يعمل طلاء SiC على تحسين قدرة الإدارة الحرارية للدرج بشكل كبير ويمكنه تشتيت الحرارة الناتجة عن الأجهزة عالية الطاقة بشكل فعال.
● مقاومة للتآكل: يعمل طلاء SiC جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة والبيئات المسببة للتآكل، مما يضمن عمر خدمة طويل الأمد وموثوقية.
● توحيد السطح: يوفر سطحًا مستويًا وناعمًا، ويتجنب بشكل فعال أخطاء التصنيع الناجمة عن عدم استواء السطح ويضمن استقرار النمو الفوقي.
وفقًا للبحث، عندما يتراوح حجم مسام ركيزة الجرافيت بين 100 و500 نانومتر، يمكن تحضير طلاء متدرج من SiC على ركيزة الجرافيت، كما أن طلاء SiC لديه قدرة أقوى على مقاومة الأكسدة. مقاومة الأكسدة لطلاء SiC على هذا الجرافيت (المنحنى الثلاثي) أقوى بكثير من المواصفات الأخرى للجرافيت، ومناسبة لنمو تنضيد السيليكون البلوري الأحادي. تستخدم صينية السيليكون الفوقي أحادية البلورية ذات طلاء SiC لأشباه الموصلات من VeTek جرافيت SGL باعتبارهالركيزة الجرافيتوالتي هي قادرة على تحقيق مثل هذا الأداء.
تستخدم الطبقة الفوقية من السيليكون أحادي البلورية المطلية بطبقة SiC من VeTek Semiconductor أفضل المواد وتكنولوجيا المعالجة الأكثر تقدمًا. والأهم من ذلك، بغض النظر عن احتياجات تخصيص المنتج للعملاء، يمكننا أن نبذل قصارى جهدنا لتلبية هذه الاحتياجات.
الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC
ملكية
القيمة النموذجية
الهيكل البلوري
FCC β مرحلة متعددة البلورات، موجهة بشكل رئيسي (111).
كثافة
3.21 جم/سم3
صلابة
2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام)
الحبوب سيze
2 ~ 10 ميكرومتر
النقاء الكيميائي
99.99995%
القدرة الحرارية
640 جول·كجم-1· ك-1
درجة حرارة التسامي
2700 درجة مئوية
قوة العاطفة
415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونغ
430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية
الموصلية الحرارية
300 واط · م-1· ك-1
التمدد الحراري (CTE)
4.5×10-6K-1