تم تصميم حامل الرقاقة الصلبة SiC من VeTek Semiconductor للبيئات المقاومة لدرجة الحرارة العالية والتآكل في العمليات الفوقي لأشباه الموصلات، وهو مناسب لجميع أنواع عمليات تصنيع الرقاقات ذات متطلبات النقاء العالية. VeTek Semiconductor هي إحدى الشركات الرائدة في توريد ناقلات الرقاقات في الصين وتتطلع إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في صناعة أشباه الموصلات.
إن حامل رقاقة SiC الصلبة عبارة عن مكون تم تصنيعه لدرجات الحرارة المرتفعة والضغط العالي والبيئة المسببة للتآكل لعملية الفوقي لأشباه الموصلات، وهو مناسب لعمليات تصنيع الرقائق المختلفة ذات متطلبات النقاء العالية.
يغطي حامل رقاقة SiC الصلبة حافة الرقاقة، ويحمي الرقاقة ويضعها بدقة، مما يضمن نمو الطبقات الفوقية عالية الجودة. تُستخدم مواد SiC على نطاق واسع في عمليات مثل تنضيد الطور السائل (LPE)، وترسيب البخار الكيميائي (CVD)، وترسيب البخار العضوي المعدني (MOCVD) نظرًا لاستقرارها الحراري الممتاز، ومقاومتها للتآكل، والتوصيل الحراري المتميز. تم التحقق من حامل رقاقة SiC الصلبة من VeTek Semiconductor في بيئات قاسية متعددة ويمكن أن يضمن بشكل فعال استقرار وكفاءة عملية النمو الفوقي للرقاقة.
● ثبات درجات الحرارة العالية جدًا: يمكن أن تظل حاملات رقائق SiC الصلبة مستقرة عند درجات حرارة تصل إلى 1500 درجة مئوية وليست عرضة للتشوه أو التشقق.
● مقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي: باستخدام مواد كربيد السيليكون عالية النقاء، يمكنها مقاومة التآكل الناتج عن مجموعة متنوعة من المواد الكيميائية بما في ذلك الأحماض القوية والقلويات القوية والغازات المسببة للتآكل، مما يطيل عمر خدمة حامل الرقاقة.
● موصلية حرارية عالية: تتميز حاملات الرقاقة الصلبة من SiC بموصلية حرارية ممتازة ويمكنها تشتيت الحرارة بسرعة وبشكل متساوٍ أثناء العملية، مما يساعد في الحفاظ على استقرار درجة حرارة الرقاقة وتحسين تجانس وجودة الطبقة الفوقي.
● توليد جزيئات منخفضة: تتميز مواد SiC بخاصية توليد جسيمات منخفضة طبيعية، مما يقلل من خطر التلوث ويمكن أن يلبي المتطلبات الصارمة لصناعة أشباه الموصلات للنقاء العالي.
المعلمة
وصف
مادة
كربيد السيليكون الصلب عالي النقاء
حجم الرقاقة المطبق
4 بوصة، 6 بوصة، 8 بوصة، 12 بوصة (قابلة للتخصيص)
الحد الأقصى لتحمل درجة الحرارة
تصل إلى 1500 درجة مئوية
المقاومة الكيميائية
مقاومة الأحماض والقلويات، ومقاومة تآكل الفلورايد
الموصلية الحرارية
250 وات/(م·ك)
معدل توليد الجسيمات
توليد جزيئات منخفضة للغاية، ومناسبة لمتطلبات النقاء العالي
خيارات التخصيص
يمكن تخصيص الحجم والشكل والمعلمات التقنية الأخرى حسب الحاجة
● الموثوقية: بعد الاختبار الصارم والتحقق الفعلي من قبل العملاء النهائيين، يمكنه توفير دعم طويل الأمد ومستقر في ظل الظروف القاسية وتقليل مخاطر انقطاع العملية.
● مواد عالية الجودة: مصنوعة من مواد SiC عالية الجودة، مما يضمن أن كل حامل من رقائق SiC الصلبة يلبي معايير الصناعة العالية.
● خدمة التخصيص: دعم تخصيص المواصفات والمتطلبات الفنية المتعددة لتلبية احتياجات العمليات المحددة.
إذا كنت بحاجة إلى مزيد من المعلومات حول المنتج أو لتقديم طلب، يرجى الاتصال بنا. سوف نقدم استشارات وحلول احترافية بناءً على احتياجاتك الخاصة لمساعدتك على تحسين كفاءة الإنتاج وتقليل تكاليف الصيانة.